웨이퍼습식공정시스템 구매

1. 사업 개요

• 목적: MEMS 공정에서 증착된 Au·Pt 등 금속막 또는 1 µm 이상 두꺼운 금속막을 건식 식각이 어려운 경우, PR·증착막을 화학적으로 제거하기 위한 웨이퍼 습식공정 시스템을 도입한다.
• 범위: 4개의 독립 챔버를 갖춘 클러스터형 습식 공정 장비 1 Set을 구매·설치하고, 200 mm·150 mm 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있는 로봇 로딩/언로딩 기능을 포함한다.
• 납품 기한: 2025 년 11 월 30 일까지, PO 접수 후 9개월 이내 납품이 요구된다.

2. 주요 자격요건

• 신규 장비 제공 – Refurbished·중고 장비는 절대 불가.
• 안전 인증 준수 – “설비 사전 안전 인증제 기준”에 따라 설계·제작·설치하고, 공급자는 모든 안전 조치·보호구 착용·사고 발생 시 책임을 진다.
• CE·SEMI 인증 보유 – CE 마크, SEMI S2·S8 표준 충족 필수.
• Solaris 2.0 제어 시스템 – Beckhoff Industrial PC 기반, Windows 10, UPS, SECS/GEM, Ethernet/USB, 실시간 데이터 로깅·예측 유지보수 기능을 포함하는 제어 시스템을 제공해야 함.
• KFPI CO₂ 화재 억제 시스템 – 금속 리프트‑오프 모듈에 통합 가능한 CO₂ 화재 억제 시스템(센서·배관·컨트롤러 포함) 제공 가능.
• FM4910‑Compliant 캐비닛 – 4개의 공정 챔버를 수용할 수 있는 캐비닛(스프레이 솔벤트 모듈) 제공.
• Metal‑Lift‑Off 스프레이 솔벤트 모듈 – 고‑유량·저‑압력 스프레이, 고‑압·프로그래머블 스윙‑암, 폴리머 제거·재클레임 탱크·인라인 히터·콘덴서 배기 등 사양 충족.
• 기본 유닛 사양 – 4 독립 챔버(Metal‑Lift‑Off, Au/Cu Electroplating, Si Wet‑Etch, PR‑Strip), 200 mm·150 mm 웨이퍼 지원, GaN·GaAs·InP·SiC·Si·Glass 등 다양한 기판 지원, 로봇 웨이퍼 로딩/언로딩 시스템 포함.
• 성능 검증 – Requirement Spec에 맞는 검증 결과(테스트 리포트·데이터) 제출.
• 납품·포장 – 입자 오염을 방지하는 견고한 포장, 파손 우려 부품은 별도 포장·현장 조립 가능하도록 설계.
• 교육·보증 – Warranty 기간(수용 테스트 서명 후 1년) 내 무상 교육 2회(기본) + 업그레이드 시 추가 1회(2일) 제공, 교육·지원 비용 전부 공급자 부담.
• Source Inspection – 입찰 전 Seller(또는 Affiliate)에서 Source Inspection Test 수행 필요.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• 4 독립 챔버 – Metal‑Lift‑Off, Au/Cu Electroplating, Si Wet‑Etch, PR‑Strip 각각 독립 운영 가능.
• 웨이퍼 사이즈 – 200 mm·150 mm 동시 처리, 로봇 웨이퍼 핸들링(로드/언로드) 포함.
• 기판 지원 – GaN, GaAs, InP, SiC, Si, Glass 등 다양한 재료 적용 가능.
• 스프레이 솔벤트 모듈
  • FM4910‑Compliant 캐비닛(최대 4 챔버)
  • Integrated CO₂ Fire Suppression System (KFPI)
  • Split‑Cabinet(용매 분리 가능)
  • Solaris 2.0 제어 시스템(Beckhoff IPC, Windows 10, UPS, SECS/GEM, Ethernet/USB, Dual SSD, 실시간 모니터링·예측 유지보수)
  • 4‑Color programmable light‑tower·audible alarm, front/rear touchscreen UI, semi‑E95 compliant GUI.
• 스프레이 챔버 – Electropolished stainless‑steel 고정 스프레이 매니폴드, 고‑유량·저‑압력 스프레이, 고‑압·프로그래머블 스윙‑암, 인라인 히터·20 L 탱크, 아날로그 레벨 센서·오버플로우, 4″ Universal filter housing, 레시피 선택 가능한 media delivery (tank/DI/N₂) 및 drain (reclaim).
• SRD (Single‑Rinse‑Dry) 모듈 – Face‑up natural‑poly SRD for final rinse/dry, feature width < 1 µm, annular exhaust.
• 기타 부속품 – Tool‑kit(키보드·마우스, 삽입 툴·4‑pin, HDPE 36 oz 병, foot‑pads, Leviflow RS485 케이블, graduated cylinder, polypropylene funnel).
• 안전·환경 – CE 마크, SEMI S2·S8 인증, secondary containment with leak detection & alarms, 24 Hr/365 Day 풀 가동 가능, 1 년 무상 보증(사용자 과실 제외).

4. 주의사항

• 신규 장비만 가능 – Refurbished·중고 장비는 제출 불가.
• 안전 인증 책임 – 설비 사전 안전 인증제 기준에 따른 설계·제작·설치를 반드시 이행하고, 안전 사고 발생 시 공급자가 모든 조치를 책임진다.
• CE·SEMI 인증 – CE 마크와 SEMI S2·S8 인증을 반드시 보유하고, 사양서에 명시된 표준을 충족하지 못하면 입찰 자격이 박탈된다.
• 성능 검증 서류 – Requirement Spec에 맞는 테스트 결과·리포트(Performance Test) 제출이 필수이며, 검증 항목(Operation & Interlock, 사양 준수 등)을 모두 통과해야 한다.
• 납품 일정 – PO 접수 후 9개월 이내 납품, 최종 납품 기한은 2025 년 11 월 30 일이다. 일정 지연 시 계약 위반 처리될 수 있다.
• 포장·오염 방지 – 입자 오염이 없도록 견고한 포장 및 클린룸 수준 포장 요구; 파손 우려 부품은 별도 포장·현장 조립 가능하도록 설계.
• 교육·지원 비용 – 교육·기술지원·보증 서비스 전 비용을 공급자가 부담한다. 추가 업그레이드 시 무상 교육 1회(2일)도 제공.
• 서브‑모듈 확보 – Cassette·부품 등 서브‑모듈은 공급자가 구비 가능해야 하며, 사양과 일치해야 한다.
• 미명시 사항 – 사양서에 명시되지 않은 항목은 공급자가 제안·협상 가능하지만, 최종 결정은 발주기관과의 상호 협의에 따른다.
• Source Inspection – 입찰 전 Seller(또는 Affiliate)에서 Source Inspection Test를 수행해야 하며, 결과 미제출 시 계약 체결 불가.
• 보증·수리 책임 – Warranty 기간 중 고장은 공급자가 무상 부품·노동 제공(사용자 과실·고의 제외).

※ 위 내용은 공고에 명시된 핵심 사항을 요약한 것으로, 상세 기술 사양·규격은 첨부 문서(일반사양서·Commodity Description)를 반드시 확인하시기 바랍니다.