세부품명번호4111172001세부품명주사전자현미경물품규격가. 특징(Features)
1. 소형화된 주사전자현미경은 설치공간과 주변 외부환경에 제약이 적으며, 일반 테이블에 올려놓고 사용할 수 있는 Tabletop 형태로 구성되어 있다.
2. 고 진공 펌프(Turbo Molecular Pump)를 기본장착 하여, 대기시간부터 진공이 완료되는 시점은 90초 이내이다. 보조펌프로는 Rotary Oil Pump 를 사용하며 오일교환이 단순하다.
3. SE(2차전자) 디텍터와 BSE(후방산란전자) 디텍터가 기본으로 장착되어 있으며, 고진공과 저진공 모드에서 분석이 가능하다.
4. 이 장비는 시료의 위치를 확인하기 위하여 스테이지(X,Y,R,Z,T) 이동 축을 사용하며, 5개의 이동 축에 모터를 장착해서 키보드 및 마우스로 이동이 가능하며, Navigation Camera가 장착되어 시편 위치를 빠르고 정확하게 이동할 수 있다.
5. 3D렌더링 기능을 기본 포함하고 있어 촬영 된 SEM Image를 3D Image로 구현이 가능하다.
6. 대면적스켄 기능을 기본 포함하고 있어 Stage가 넓은 범위를 자동으로 이동하며 촬영하며,
7. Recipe 기능은 최대 5개의 위치를 기억할 수 있어 기억 된 위치로 정확하게 이동하여 재분석이 가능하다.
나. 성능 및 규격(Specifications)
1. 주요기능
1) 분해능(SEI) : 가속전압 30kV 에서 5nm
2) 배율 : 20x to 250,000x
3) 가속전압 : 1kV to 30kV (1kV / 5kV / 10kV / 15kV / 20kV / 30kV – 6step)
2. 전자 총
1) 텅스텐(W) 필라멘트, 카트리지 교환 방식 Filament 공간은 대기와 접촉 없이 시편 교체가 가능하여야 한다.
2) 렌즈 구성
- 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈
- 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈
3) 비점장치 : 8극 전자기장 형
4) Variable Aperture : 30/50/50/100um – 4hole
3. 전자 수집
1) 2차 전자(Secondary Electron Detector) / E-T Detector Type
2) 후방산란 전자(Back Scattered Electron Detector)
- Solid state 4-segment Type
- BSE Mode : Composition & Toposition Images
3) SE+BSE Merge Images / SE&BSE Split Image
4. 스테이지 시스템
1) X,Y,R,Z,T : 5-axis Fully Motorized Stage
- X-axis 이송 거리 : 40㎜
- Y-axis 이송 거리 : 40㎜
- R-axis 이송 거리 : 360°(Rotation)
- T-axis 이송 거리 : -45 to 90°
- Z-axis 이송 거리 : 0 ~ 40㎜
2) 최대 샘플 크기 :
80㎜ in Diameter, 50㎜ in Height
3) Working Distance : 0 to 40mm
- 진공상태 내에서 실시간 Z-axis 조정을 통한 심도 깊은 영상구현
4) Auto Calibration Stage system : 5-axis Home potion setting.
5) 5-axis Stepping Motor 채택 : 정밀도 3um 이내
5. 영상이동 : X,Y - Beam Shift ±75um (4극 전자기형)
6. 진공 시스템
1) Rotary Pump (100Liter) + Turbo Molecular Pump
(80Liter)
- 전 자동화 형태로 구성
- 진공시간 시작 후 90초 이내 진공완료
- 진공해제 : 10초 소요
2) High and Low Vacuum System
- High Vacuum mode : SE Image, BSE Image
- Low Vacuum & BSE Mode :
Charge-up Reduction mode (Non-coating Image)
- 고 진공에서 저 진공 도달시간 : 5sec
- 저 진공에서 고 진공 도달시간 : 20sec
7. 자동기능 :
- 자동초점
- 자동 명암&밝기
- Navigation 자동 Snapshot
- 센서형 자동 진공 시스템
8. 제어 시스템
1) 컴퓨터 : Desktop PC
2) 사용모드 : Controls - Mouse and Keyboard
3) 모니터 : 24 inch LCD
4) 디스플레이 모드
- Fast Scan : 320x240(Live)
- Slow Scan : 640x480
- Photo Mode 1 : 1280x960
- Photo Mode 2 : 2560x1920
- Photo Mode 3 : 5120x3840
5) Top-view CCD CAMERA
- HD Video Capture : Up to 1280 x 20 pixels
- Snapshot 이미지 SEM 소프트웨어 전송, 자동 Display
- 샘플원본 이미지 Capture 및 Save
- 명암, 밝기 조정 모드
9. 소프트웨어 시스템
1) 3D렌더링
- SEM Image를 자동으로 3D 구현
2) 대면적스켄
- Stage가 자동 이동하여 넓은 범위를 분할 촬영하여 1개물품수량1 대물품단가89,650,000원인도조건수요기관희망장소입고도물품분류 제한여부예제조여부아니오배정예산금액89,650,000원 