극저온 플라즈마 집속이온빔장치

1. 사업 개요

• 목적: 충북대학교 차세대에너지기술연구소에서 극저온 플라즈마 집속이온빔장치(Cryogenic Plasma Focused Ion Beam, PFIB) 1세트를 도입하여, 고해상도 전자·원자 이온 빔을 활용한 시료 전처리·단면·조각·TEM 샘플 제작 등 첨단 재료·반도체 분석 역량을 확보하고자 함.
• 범위: 1세트, 규격서 및 영문 사양서에 명시된 모든 기능·성능을 충족하는 장치 전체(시스템 본체, 냉각 스테이지, IGST 샘플 전송 홀더, 소프트웨어 등) 및 설치·운용 교육 포함.
• 예산·일정: 배정예산 USD 1,550,000, 2026‑02‑28까지 납품 완료, FCA(운송인인도) 인코텀즈 적용, 선적·납품 시 T/T 또는 L/C 결제 가능.

2. 주요 자격요건

• 법적·행정적 요건

  • 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제 1214조 및 동법 시행규칙 제 1214조에 따른 입찰참가자격을 보유한 기업·법인.
  • 부정당업체(부정 입찰·담합·가격 사전 협의 등) 제한 대상이 아님.
  • 청렴계약 서약서(5‑2‑6‑2) ※ 입찰서 제출 시 반드시 서명·동의해야 하며, 위반 시 입찰·낙찰 취소·계약 해제·해지 등의 불이익을 감수하고 민·형사상 이의를 제기할 수 없음.

• 제출 서류 (밀봉·별도 제출)

  • 입찰참가신청서(소정 양식)
  • 이행입찰보증보험증권 (또는 현금 5 % 보증)
  • 사업자등록증 사본
  • 법인등기부등본 (법인 경우)
  • 인감증명서 및 사용인감계
  • 국세·지방세·고용보험 완납증명서 (공고일 이후 발행분)
  • 위임장·재직증명서 (대리인 방문 시)
  • 제조사·공급자 증명서 (소정 양식)
  • 청렴계약이행각서 (소정 양식)
  • 가격서(가격서 + 규격서 각각 밀봉)
  • 규격서(규격서 + 규격 증빙자료(카탈로그 등))

• 기술·공급 역량

  • 구매 규격 (극저온 플라즈마 집속이온빔장치) 이상의 사양을 제공하고, 설치·운용 교육·보증을 수행할 수 있는 공인 제조사 또는 인증된 대리점이어야 함.
  • 해외(外資) 공급·수출이 가능한 업체이며, 인코텀즈 FCA 조건에 맞는 물류·통관·보험 체계를 갖춘 기업.

3. 핵심 기술·물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양·요구사항 |
|------|-------------------|
| 전자빔(Electron Optics) | • Schottky Field Emitter 타입, 전자빔 해상도 0.6 nm(15 kV) / 0.7 nm(1 kV)<br>• 가속전압 350 V ~ 30 kV, Landing Energy 20 eV ~ 30 keV<br>• Probe Current 0.8 pA ~ 100 nA<br>• Monochromator SEM 기술 필수 |
| 이온빔(Ion Optics) | • Primary Ion Species Xe, Ar, N, O<br>• 해상도 10 nm(30 kV)<br>• 가속전압 500 V ~ 30 kV, Probe Current 1.5 pA ~ 2.5 µA (Xe)<br>• Multi‑Gas Injection System (Pt, W, C Precursor 포함)<br>• SEM Protective Shutter 포함 |
| 진공 시스템 | • 완전 oil‑free, 챔버 진공 < 2.6 × 10⁻⁶ mbar, Evacuation time < 5 min |
| 시료 스테이지 | • 5‑axis high‑precision motorized stage, X/Y range 110 mm, Z range 65 mm, Tilt -38° ~ +60°, Rotation 360°<br>• X/Y repeatability 3 µm, Max sample height 85 mm (eucentric point) |
| 극저온(Cryo) 스테이지 | • Rotation 360°, Co‑eucentric tilt, Cooldown < 30 min, Stable cryogenic cooling > 10 h (LN₂ refill 사이)<br>• Expected temperature < -170 °C (Cold‑Trap 포함), Tilt -15° ~ +55° (eucentric WD) |
| 검출기 | • E‑T (Everhart‑Thornley) detector, In‑lens SE/BSE, In‑column SE/BSE, High‑performance in‑chamber electron & ion detector (SI/SE), Retractable solid‑state BSE, Beam Deceleration technology, Decontaminator |
| 스캔 시스템 | • 최대 해상도 6144 × 4096 픽셀, Dwell time 25 ns ~ 25 ms/pixel, 256 frame average/integration, 자동 drift‑compensated 스캔, 다중 포맷 (TIFF 8/16/24‑bit, BMP, JPEG) |
| 샘플 리프트‑아웃 매니퓰레이터 | • Smallest step < 50 ± 30 nm, Omni‑directional repeatability < 150 nm, True Z movement 500 nm over 5 µm stroke, Drift < 200 nm/min (first 3 min), Closed‑loop encoder feedback, Motorized 360° needle rotation, Cryo shaft (probe tip cooling, Cu strip heat‑transfer) |
| IGST (Inert‑Gas Sample Transfer Holder) | • Sample max diameter 25 mm (at 10 mm height), Thickness ≤ 15 mm<br>• Integrated vacuum, evacuation ~ 60 s, compatible with glove‑box & Plasma FIB, Cryo‑transfer integration kit 포함 |
| 운용 소프트웨어 | • 자동화 S/TEM 샘플 전처리·단면·조각·3D Slice‑and‑View 솔루션, 무인 멀티‑site chunking, lift‑out, cross‑sectioning, 자동 focus, auto‑stigmation, auto‑lens‑align, 이미지 mosaic 자동 획득, 다중 신호·다중 ROI 지원, 실시간 stitching, 오프라인 라이선스 제공 등 |
| 보증·교육 | • 1 년 보증(설치 후), 제조사 공인 엔지니어 설치·운용 교육, Shipment 8 개월 후, Incoterms FCA 적용 |

4. 주의사항

• 청렴계약 서약: 입찰·낙찰·계약 전 과정 전반에 걸쳐 금품·향응·담합·알선을 금지하며, 위반 시 모든 불이익(낙찰 취소·계약 해제·해지 등)을 감수하고 이의 제기 불가. 서약서 서명·동의는 필수.
• 입찰 보증금: 입찰 마감 전까지 입찰 금액의 5 % 이상을 현금 또는 이행입찰보증보험증권으로 납부해야 함. 낙찰 후 10일 이내 계약 체결이 없을 경우 보증금은 대학에 귀속.
• 가격·규격 동시 평가: 기술 제안서(규격서) 평가 후 적격자를 선정하고, 그 중 예정가격 이하 최저가격을 제시한 업체를 낙찰자로 선정. 가격 동률 시 규격 제안서 우위가 우선.
• 제출 방식: 가격서와 규격서를 각각 밀봉하여 별도 제출하고, 모든 서류는 지정된 직접 방문 방식으로 접수해야 함.
• 입찰 일정: 접수 마감 2025‑10‑02 10:00, 개찰 2025‑10‑02 11:00 (동일일). 기한 초과 시 무효 처리.
• 문서·첨부: 영문 규격서(Commodity Description.pdf)와 입찰유의서는 반드시 확인하고, 미기재 사항은 별첨 입찰유의서에 따름.
• 문의처:
  • 기술 규격 문의: 권태현 (t. 010‑2523‑1137)
  • 계약·입찰 문의: 연윤영 (t. 043‑261‑3494)
• 기타: 본 입찰은 “국가기관이 아닌” 대학 산학협력단이지만, 국가·지방계약법을 준용하고 있음. 따라서 국가·지방조달 관련 모든 규정(청렴계약, 입찰보증금, 무효 사유 등)을 동일하게 적용.

위 요약은 입찰 공고와 영문 규격서를 토대로 핵심 내용만을 정리한 것이며, 실제 입찰 참여 시 반드시 전체 공고문·첨부 파일·입찰유의서를 확인하시기 바랍니다.