진공증착기_PA202501767

1. 사업 개요

• 목적: IGZO 등 원자층 증착(ALD) 연구를 위한 고성능 진공증착기 도입. 열에너지와 플라즈마를 동시에 사용할 수 있는 샤워헤드형 ALD 설비를 확보하여 박막 물성 연구를 지원한다.
• 범위: 프로세스 모듈, 로드락 모듈, 컨트롤 박스로 구성된 본체 및 부속품(펌프, 오존 공급 장치, 칠러, 전구체 등) 일체 제공. 설치·교육까지 포함한 턴키 납품.
• 기간: 납품 기한 ASAP, 2025‑12‑31 이전에 납품 완료. 설치 및 교육은 납품 당일 현장에서 진행.

2. 주요 자격요건

• 필수 기능
  • ALD 공정 수행 가능 (PEALD < 100 °C 저온, Ozone‑Thermal ALD 고온 옵션 포함).
  • 전구체·반응 가스 교체 사이클 최소화 설계.
  • 전구체와 반응 가스를 샤워헤드 내부에서 완전 격리하여 균일 박막 증착 보장.
  • 자동 압력 조절(Throttle Valve) 기능.
  • 웨이퍼 상하 이동·높이 조정 가능.
  • 자동 로딩/언로딩(반송) 시스템 구비.
• 기술·규격 요건
  • 한국 정부 물품분류번호 23990398, 물품식별번호 24232669 일치.
  • O2 Plasma / O3 데이터 확보 및 IGZO 박막 증착 검증 가능.
  • GPC(Growth per Cycle) 관리 및 미세 두께 제어 가능.
• 납품·보증 조건
  • 납품 기한: 2025‑12‑31 이전 (ASAP).
  • 무상보증: 설치 완료 후 1년.
  • 설치·교육: 납품 당일 현장에서 진행.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• ALD 공정
  • PEALD: 100 °C 이하 저온 증착, 플라즈마 손상 가능성 최소화.
  • Ozone‑Thermal ALD: 높은 온도에서 최소 손상 증착.
• 샤워헤드형 설계
  • 열·플라즈마를 동시에 적용 가능.
  • 전구체·반응 가스 비접촉 격리 설계.
• 부속품
  • 프로세스 모듈용 펌프, 로드락 모듈용 펌프.
  • 오존 공급 장치, 전용 칠러.
  • 전구체(DADI, TMGa, DEZ) 공급 가능.
• 제어·자동화
  • 자동 압력 조절기(Throttle Valve) 및 실시간 압력 모니터링.
  • 웨이퍼 수직 이동·높이 조정 메커니즘.
  • 자동 로딩/언로딩(반송) 시스템.
• 보증·유지보수
  • 설치 후 1년 무상 보증(설치 완료 시점 시작).

4. 주의사항

• 납품 일정: 2025‑12‑31 이전에 반드시 납품해야 하며, 지연될 경우 계약 취소 위험이 있다.
• 설치·교육: 납품 당일 현장에서 설치 및 교육 진행 필요. 교육 자료·기술 매뉴얼을 제공해야 함.
• 보증 적용: 무상보증 1년은 설치 완료 후 시작되므로, 설치 완료 시점을 명확히 기록해야 한다.
• 기술 검증: 샤워헤드형 ALD 설비가 열·플라즈마 동시 사용 가능한지, 전구체·반응 가스 격리 설계가 구현되는지를 사전 검증해야 함.
• 분류코드 일치: 물품분류번호(23990398)·물품식별번호(24232669)와 실제 납품 물품이 일치해야 한다.
• 납품 장소: 19동 301호(연구실 담당자 정규원, gwjung@snu.ac.kr / 010‑8505‑2688)와 직접 협의 후 현장 설치.
• 제안서 제출: 기술 사양, 성능 시험 결과, 유지보수·훈련 계획 등을 포함한 상세 제안서와 사업자등록증 등 기본 서류를 함께 제출해야 한다.

※ 본 요약은 공고에 명시된 핵심 내용을 기반으로 작성되었습니다.