이온주입 공정용 가스 구매

1. 사업 개요

• 목적: 반도체 웨이퍼에 불순물(도핑)을 정밀 주입하기 위한 이온주입 공정용 고순도 가스(AsH₃, PH₃, BF₃)를 구매한다.
• 범위: 1 세트(각 1 실린더)씩 AsH₃ (2.5 L), PH₃ (2.5 L), BF₃ (2.2 L)를 포함한 고압 가스 3품목을 공급한다.
• 대상기관: 서울대학교 반도체공동연구소(관악구 관악로).

2. 주요 자격요건

• 고압가스안전관리법에 따라 특정고압가스 제조·판매 허가를 보유한 업체.
• 가스 사고배상 책임보험 가입 및 증빙 서류 제출 가능.
• 위험물 운송·배송 자격을 유지하고, 용기 반납·임대 절차를 이행할 수 있는 능력.
• 밸브 규격: AsH₃·PH₃는 1/2 ” VCR 밸브, BF₃는 SA‑B outlet 밸브를 장착한 실린더 제공 가능.
• UN 위험물 라벨 및 위험물 포장·표기가 가능한 업체.
• 필수 서류(COA, MSDS, 제조·판매 허가증 사본 등) 제출 준비가 되어 있는 업체.

3. 핵심 기술·물품 요구사항

• 가스 종류 및 순도

  • AsH₃: ≥ 99.9995 % (N₂ ≤ 2 ppm, O₂ ≤ 1 ppm, CO ≤ 0.1 ppm, CH₄ ≤ 0.5 ppm, H₂O ≤ 2 ppm, CO₂ ≤ 0.5 ppm)
  • PH₃: ≥ 99.9997 % (N₂ ≤ 2 ppm, O₂ ≤ 1 ppm, CO ≤ 0.1 ppm, CH₄ ≤ 0.5 ppm, H₂O ≤ 2 ppm, CO₂ ≤ 0.1 ppm)
  • BF₃: ≥ 99.900 % (N₂ ≤ 25 ppm, O₂ ≤ 25 ppm, Ar ≤ 25 ppm, SO₂ ≤ 25 ppm, HF ≤ 25 ppm, CO₂ ≤ 25 ppm)

• 압력 사양

  • AsH₃·PH₃: 650 Torr @ 21 °C (± 50 Torr)
  • BF₃: 1250 PSIA @ 22 °C (± 100 PSIA)

• 용기 사양

  • AsH₃·PH₃: SDS 2.5 L 실린더, 1/2 ” VCR 밸브
  • BF₃: VAC 2.2 L 실린더, SA‑B outlet 밸브

• 포장·라벨링

  • 밸브 캡·프로텍터 적용, UN 위험물 라벨 부착, 외관 손상·누설 금지.

• 납품 일정

  • 일괄 납품 마감일: 2025‑12‑31
  • 납품 장소: 서울특별시 관악구 관악로 동 반도체공동연구소

• 검수 기준

  • 외관·라벨·압력 확인 후 COA와 대조, 기준 미달 시 무상 교체 요구.

• 필수 제출 서류

  • COA (분석 일자·방법 포함)
  • 밸브·실린더 사양, 시리얼 번호, 재검사·검정 유효기간, 충전일, 정격 충전 질량·압력 표기
  • 한글 제조·판매 허가증 사본, 가스 사고배상 책임보험 증빙, MSDS 등

4. 주의사항

• 용기 반납: 납품일로부터 23개월 이내 반납 의무. 반납·회수·처리 비용을 공급자가 전액 부담하며, 반납 일정은 사전 협의·기한 초과 시 연체료 산정 기준을 명시해야 함.
• 납품·포장: 2025‑12‑31까지 일괄 납품, 라벨·포장 손상·누설 금지, UN 라벨 및 위험물 표시 필수.
• 검수·교체: 검수 시 기준 미달 시 무상 교체 요구. COA와 실제 사양 일치 여부 확인이 핵심.
• 서류 관리: COA·MSDS·제조·판매 허가증·보험 증빙 등 모든 서류를 지정된 형식으로 제출해야 하며, 미비 시 입찰 무효·계약 해지 위험.
• 법적·자격 요건: 고압가스안전관리법 허가와 위험물 운송·배송 자격 증빙이 없으면 참여 불가.
• 품질 보증: 불순물 허용 한계 초과 시 품질 보증 위반으로 계약 해지·손해배상 청구 가능.

위 내용은 입찰 공고에 명시된 핵심 사항을 요약한 것이며, 상세 규격·서류 양식 등은 첨부 문서(붙임 1·구매 규격서.pdf)를 반드시 확인하시기 바랍니다.