전자빔 리소그라피 [E Beam Lithography System]

1. 사업 개요

• 목적: 한국과학기술원(KAIST)이 정밀 양자소자·양자정보·컴퓨팅 구조를 패터닝하기 위해 전자빔 리소그라피(E‑Beam Lithography) 시스템을 1세트 구매한다.
• 범위: 메인 장비와 보조 장비를 포함한 전체 1세트(총 18486.40‑1010232111941 set)로, 100 kV 전자빔을 이용해 9 nm 이하 스티칭·오버레이 정확도, 8 nm 이하 최소 라인폭, 고속·고정밀 빔 제어 기능을 제공한다.

2. 주요 자격요건

• 법령 요건: 국가 계약법 시행령 제 12조 및 시행규칙 제 14조, KAIST 계약 처리 지침 제 16조에 명시된 모든 자격 요건을 충족해야 함.
• 입찰 보증금: Performance‑Guarantee Insurance Policy (2.5 % × 입찰가액) 제공. 계약 체결 안 하면 보증금 자동 몰수.
• 해외 공급: 해외 공급자는 Form 4 Bidding Deposit Payment Memorandum을 제출해야 함.
• 표준 입찰 통과: 표준 입찰을 통과한 업체만 가격 입찰에 초청되며, 초청 여부는 전화·이메일로 개별 통보.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

3‑1. 메인 장비 (1 set)

1. E‑Beam Lithography System (BU)
2. Electron Source Column
3. Column
4. Deflection System
5. Control CPU System
6. Cooling Water Circulator System
7. Signal Tower
8. Layout Parts & Cable
9. Single Cassettes Loading System
10. Remote Objective Aperture

3‑2. 보조 장비 (Accessory) – 총 16 items

• In‑chamber Optical Microscope
• UPS for Electron Source Column
• Temperature Control System (± 0.1 °C)
• Active Magnetic Field Canceller
• Multi‑Piece Cassette, 4‑inch & 6‑inch Wafer Cassette
• GenISys BEAMER Package (PEC + TRACER)
• BEAMER & TRACER License Upgrade
• UPS for the system
• Vibration‑Isolation Table
• Note PC (Maintenance)
• Desktop PC (GenISys)
• Data Preparation Program
• Circular Scanning System
• On‑site Technical Support (30 days)

3‑3. 주요 성능 사양 (100 kV 기준)

• Field Stitching Accuracy ≤ 9 nm
• Overlay Accuracy ≤ 9 nm
• Minimum Line Width < 8 nm
• Beam Current Stability ≤ 0.5 % p‑p / h
• Beam Position Accuracy ≤ 70 nm p‑p / h (Field 1000 µm) at ≤ ± 0.1 °C / h
• Control Unit Lambda / 1024 ≈ 0.6 nm or better
• Movement Area ≥ 190 mm × 170 mm
• Write Area ≥ 175 mm × 170 mm
• Beam Deflection
  • Field size ≥ 1000 µm × 1000 µm
  • Fast writing speed ≥ 100 MHz
  • Position DAC ≥ 20 bit, Scanning DAC ≥ 14 bit
  • OL Aperture 자동 교체 가능
• Mark Detection & Alignment: In‑chamber optical microscope, contaminated/insufficient‑boundary marks detection 기능 포함

3‑4. 기타 조건

• 납기: 계약 기준 420 일, 인코텀즈 FOB 또는 FCA, 부분 선적 가능
• 보증: 설치 후 12 개월(문제 대응 부품·인건비 포함)
• 검수: 사전 합의된 사양에 따라 공장·제작자 시험 수행 후 선적
• 설치·Commissioning 및 현장 교육: 현장 설치·검수·시운전, 온‑사이트 교육 제공

4. 주의사항

• 표준 입찰 마감: 2025‑11‑03 18:00 (우편·직접 제출) → 제출 서류: 영문 사양(카탈로그 포함), 사업자등록증, 독점 공급·대리점 계약서, 공급업체 증명서, 입찰 보증금(※ 해외 공급자는 Form 4 제출). 모든 서류는 페이지 사이·봉투에 밀봉·스탬프 필수, 마감 전 도착.
• 가격 입찰: 2025‑11‑10 14:30 (등록 마감 14:00) → 입찰 신청서, 인장 증명서, 대리인 위임장(필요 시) 제출. 서류 반환 안 함.
• 입찰 가치: FCA USD 1,976,000.00 기준.
• 선정 기준: 계획 가격 이하 최저 입찰자.
• 입찰 전 숙지: 첨부 영문 사양, 입찰노트, 일반 입찰·계약 규정 반드시 확인.
• 결제·보증: 2025년 최대 50 % 선금·보증채권, 50 % 선적 시, 10 % 검수 완료 후 지급. 보증 기간 12 개월. 예산 상황에 따라 비율 변동 가능.
• 현지 서비스·환경 대책: 국내 전문 인력(기계·소프트웨어·현장 엔지니어) 보유, 설치실 환경 측정·대책 수립 필요.
• 문의:
  • 계약 절차: Howard S H Kim (Procurement Team, Tel 042‑350‑2334)
  • 사양 상세: Hwang Jinok (Quantum Research Fab, Tel 042‑350‑8543)

위 내용을 참고하여 입찰에 준비하시기 바랍니다.