유도결합 반응성 식각기(SI 전용) [Inductively Coupled Reactive Etcher SI Silicon]

1. 사업 개요

• 목적: 한국과학기술원(KAIST)이 양자 정보·컴퓨팅 및 광자 통합 회로 등 차세대 양자·광학 디바이스 개발을 위해 Si 전용 인덕티브 커플드 플라즈마 식각기(ICP‑RIE) 를 도입한다.
• 범위: 6 인치(150 mm) 이상 웨이퍼를 처리할 수 있는 고밀도 ICP‑RIE 시스템을 1세트 단위로 공급하며, 플라즈마 소스, RF 전원, 스테이지, 가스·진공·온도 제어·엔드포인트 검출·제어 소프트웨어·보조 부품·설치·교육 지원까지 전 시스템을 포함한다.
• 조달 형태: 해외(off‑shore) 조달이며, 모든 입찰·계약 문서는 영어 로 작성·제출해야 한다.

2. 주요 자격요건

• 법적 면허·자격: 전자·전기기기, 고압가스, 의료기기 등 관련 법령에서 요구하는 면허·인증을 보유해야 함.
• 입찰·성능 보증:
  • 입찰 보증(bid bond) ≥ 5 % · KAIST 지정 은행에 제출(외국 입찰자는 USD, 한국 기업은 KRW).
  • 계약 체결 시 성능 보증(performance bond) ≥ 10 % · 동일 방식으로 제출, 계약 종료·연장 시 해제.
• 기술·제조 능력:
  • Si·Ge·SiGe·GeSn 등 복합 반도체 재료에 대한 ICP‑RIE 식각 기술 보유.
  • 최소 150 mm(6‑inch) 웨이퍼 처리 가능, ±5 % 이하 균일도 보장.
• 품질·보증: 납품 후 1년 동안 재료· workmanship 결함 무상 보증 제공.
• 설치·교육 지원: 장비 설치 및 사용자 교육 서비스를 1세트 포함 제공.
• 국제 규격·수출 요건: ISO/IEC 등 국제 표준 준수, 수출세·관세·통관 관련 의무를 이행.
• 언어·문서: 입찰서·계약서는 영어 원본(또는 번역본) 제출.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양 |
|------|-----------|
| 전체 시스템 | 메인 식각 챔버, ICP·NLD 플라즈마 소스, RF 전원 매칭 네트워크, ESC·백사이드 냉각 스테이지, 리프트 핀 등 1세트 |
| 플라즈마 | RF 전력 ≥ 2 kW, 주파수 13.56 MHz 또는 2 MHz 클래스, Bias RF 전력 ≥ 600 W (12.5‑13.56 MHz 범위) |
| 기판 | 최소 150 mm(6‑inch) 이상, ±5 % 이하 균일도 |
| 식각 속도 | ≥ 100 nm/min (재료·공정 조건에 따라 변동) |
| 진공·압력 | 베이스 압력 ≤ 5 × 10⁻⁶ Torr |
| 온도 제어 | -20 °C ~ 40 °C, 백사이드 냉각 포함 |
| 가스 라인 | 8개 이상, ≥ 6 MFCLines, 가스 포드/박스·스플릿 매니폴드 포함 |
| 펌프 시스템 | 터보 분자 펌프 + 드라이 펌프, APC 밸브 포함 |
| 게이지·밸브 | 용량형 마노미터, 피라니, 콜드 캐소드 등 표준 게이지 포함 |
| 엔드포인트 검출 | OES·SIMS 또는 플라즈마 모니터 (옵션) 제공 |
| 제어 소프트웨어 | GUI‑based 레시피 관리, PLC/PC, UPS 포함 |
| 보조 부품·스패어 | 실드, 클램프, 링, 트레이 등 표준 스패어 부품 포함 |
| 다재질 지원 | Si, Ge, SiGe, GeSn 등 복합 반도체 재료 식각 가능 |
| 설치·교육 자료 | 일반 배열·설치 도면, 전기 배선, 조립·윤활도, 운용·보수 매뉴얼, 인증 시험 보고서, 부품 목록 등 최소 2부 이상 포함 |

4. 주의사항

• 언어·문서: 모든 입찰·계약 서류는 영어 로 작성·제출; 한국어 문서는 번역본 필요.
• 보증·채권: 입찰 보증(5 %)과 성능 보증(10 %)을 KAIST 지정 은행에 사전 제출; 보증 해제·몰수 조건을 반드시 준수.
• 보증 기간: 납품 후 1년 동안 무상 보증(재료· workmanship 결함). 결함 발생 시 교체·보상 의무.
• 수량 변동: 계약 수량 변동은 사전 서면 승인 없이는 불가; 위반 시 계약 위반·위약금 부과.
• 검사·인증: KAIST 지정 검사관이 선적 전 20일 이내에 검사 준비를 통보해야 함. 검사 비용·시설 제공 의무; 검사 결과에 따라 전체 거부 가능.
• 브랜드·대체품: 카탈로그·브랜드명은 설명용이며 제한 아님. 대체품 제출 시 차이점 명시 필요.
• 도면·부품 매뉴얼: 일반 배치·설치 도면, 전기 배선, 조립·윤활도, 운용·보수 매뉴얼, 시험 보고서 등 최소 2부 포함.
• 하위 계약: 계약서에 명시된 공급·제조사가 아닌 경우 하위 계약 금지, 사전 서면 승인 필요.
• 보호 코팅·포장: 부식 방지를 위한 코팅·페인트는 가능하지만, 검사 전 적용 시 검사 방해 시 금지. 포장은 수출용(해상·항공) 표준에 맞게 라벨·태그 부착.
• 특허·지적재산: 계약 수행 중 발생하는 특허·지적재산 침해에 대해 공급자가 책임을 부담, 구매자에게 면책 제공.
• 가격 통제: 입찰 가격은 수출 차등을 반영한 국내 정가 이하이어야 하며, 동일 조건의 구매자에게 동일 가격 적용 의무 위반 시 계약 취소·환불 가능.
• 대금 결제: 해외 공급자는 불가역 신용장(irrevocable L/C) 으로 계약 금액 전액 결제; 신용장 외 비용은 공급자 부담.
• 지연 손해: 납기 초과 시 0.075 % 일일 위약금(최대 계약가 10 %) 부과; 초과 시 계약 취소 가능.
• 배송 서류: 선적 후 즉시 클린 B/L·Airway Bill, 상세 인보이스, 포장 리스트, 검사 인증서, 기타 서류 1부씩 항공우편 으로 제출; 선박 마스터에게도 1부 추가 전달.
• 채무불이행·위약: 계약 사양 미준수 시 계약 해지·대체 조달 가능, 성능 보증 자동 몰수, 손해 배상 청구 가능.
• Force Majeure: 천재지변·정부조치·전쟁·전염병· 파업· 운송 금지 등 불가항력 사유 발생 시 10일 전 서면 통보와 공공기관 확인서 제출 시 면책 가능; 다만 미이행이 지속되면 손해 배상 책임.
• 분쟁 해결: 모든 분쟁은 서울 국제중재 규칙에 따라 3인 중재인(1명 바이어, 1명 계약자, 1명 중립)으로 해결; 중재 결과는 최종 구속력.
• 수출세·관세: 모든 수출세·관세·수수료는 공급자 부담; 바이어는 면제.
• 법률 적용: 계약은 대한민국 법률 적용, 해석은 한국법에 따름.
• 통지·주소: 모든 서면·케이블 통지는 KAIST (대전 유성구 대학로 291) 또는 케이블 주소 KAISROK TAEJON 로 전달.

위 요약은 입찰 공고와 일반 입찰·계약 규정(General Provisions) 두 문서를 종합한 핵심 내용이며, 실제 입찰 참여 시 전체 규격서와 규정을 꼼꼼히 검토하시기 바랍니다.