유도결합 반응성 식각기(OXIDE전용) [Inductively Coupled Reactive Etcher OXIDE]

1. 사업 개요

KAIST( 한국과학기술원 )는 산화물(Oxide) 전용 ICP‑RIE(Inductively Coupled Reactive Ion Etcher) 1세트를 국제 입찰로 구매하고자 합니다.

• 목적: 양자 정보·컴퓨팅 장치(슈퍼컨덕팅 큐비트, 양자점, 이온 트랩 등)와 포톤 통합 회로(Photonic Integrated Circuits)의 정밀 식각·나노패턴 구현을 위한 고성능 플라즈마 식각 장비 확보.
• 범위: 메인 식각 챔버, ICP·바이어스 RF 전원, 로드로크, 기판 핸들링 스테이지, ≥6 MFC 가스 라인, 터보분자·드라이 펌프, 진공 게이지·밸브, 온도 제어·백사이드 냉각 시스템, OES 기반 엔드포인트 검출, GUI‑기반 레시피 제어 소프트웨어, 전원·배관·신호 타워 등 모든 부속품·예비 부품·설치·훈련 지원을 포함한 완전한 1세트 제공.
• 예산: FCA 기준 USD 868,700 (2025 년). 최저 입찰가가 계획가 이하이면 성공 입찰자로 선정됩니다.

2. 주요 자격요건

| 구분 | 내용 |
|------|------|
| 법적 요건 | - 국가·공공기관 계약법 시행령 제12조, 시행규정 제14조 및 KAIST 계약 취급 지침 제16조에 명시된 모든 자격조건을 충족해야 함. |
| 입찰 자격 | - 해외 공급업체 또는 허용된 국내 공급업체 모두 가능. 국내 업체는 입찰보증금(한국 원)·해외 업체는 USD(또는 동등한 통화)·KAIST 지정 은행에 제출해야 함. |
| 필수 서류 | - 영문 사양서(카탈로그 포함) 1부 <br> - 사업자 등록증 1부 <br> - 독점 공급·대리점 계약·공급업체 인증서 1부 <br> - 입찰보증금(또는 Memorandum) 1부 |
| 보증금 | - 입찰보증금: 최소 2.5 % (Performance guarantee insurance) 또는 일반 조항에서는 5 % 수준. 입찰 전 지정 은행에 도착해야 함. <br> - 이행보증금(Performance Bond): 계약금액의 10 % 이상, 계약 체결 후 일정 기간 내 제출. |
| 가격 입찰 | - 표준 입찰 통과 후 가격 입찰에 초청됨. <br> - 가격 입찰 등록 마감: 2025‑11‑11 14:00 (정시). <br> - 가격 입찰 장소: KAIST 조달팀(4층, 메인 행정동 E14). |
| 기타 | - 모든 제출 서류는 밀봉·날인·봉투에 봉인 필수. <br> - 서류는 반환되지 않음. <br> - 입찰·계약 진행 시 영어로 작성된 문서만 허용(사전 승인 제외). |

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 항목 | 상세 사양 |
|------|-----------|
| 시스템 | ICP‑RIE(SiO₂ 전용) 1세트 (전체 구성 포함) |
| 메인 식각 챔버 | 프로세스 챔버 + ICP 소스 + 로드로크 |
| RF 전원 | - Source RF: ≥ 2 kW, 13.56 MHz 또는 2 MHz 클래스 <br> - Bias RF: ≥ 600 W, 12.5‑13.56 MHz 클래스 (매칭 네트워크 포함) |
| 기판 스테이지·핸들링 | ESC/Mechanical Chuck, 백사이드 냉각, Lift Pins |
| 가스 공급 | ≥ 6 MFC 라인, Gas Pod/Box, Split Manifold |
| 진공 펌프 | Turbo‑Molecular Pump + Dry Pump, APC Valve |
| 진공 게이지·밸브 | Capacitance Manometer, Pirani, Cold Cathode |
| 온도 제어 | Chiller, Wafer Backside Cooling, Temp. Controller (‑20 ~ +40 °C) |
| 엔드포인트 검출 | OES (Optical Emission Spectroscopy) 제공 (옵션) |
| 제어·소프트웨어 | GUI‑based Recipe Control, PLC/PC, UPS |
| 예비 부품·소모품 | Shields, Clamps, Rings, Trays 등 표준 예비 부품 포함 |
| 설치·훈련 | 1세트 설치 및 현장 교육 지원 |
| 성능 기준 | - 기판 크기: 최소 150 mm(6‑inch) 이상 <br> - RF 플라즈마: 고밀도, 위 사양 충족 <br> - Etch Rate: ≥ 100 nm/min (재료·조건에 따라) <br> - Uniformity: ±5 % 이하 <br> - Base Pressure: ≤ 5 × 10⁻⁶ Torr <br> - 가스 라인: ≥ 8 개 <br> - 펌프·게이지: 위 사양 포함 <br> - 기타: 모든 부품은 새 제품, 결함 없음, 계약 사양에 부합. |
| 보증 | 납품 후 1년(설치 확인 기준) 무상 보증. 결함 발생 시 교체·보상 책임. |
| 가격·결제 | 2025 년: 60 % T/T(선금) + 보증금, 40 % 검수 완료 후 지급. 보증 기간 12 개월. |
| 수량 변동 | 구매자 서면 승인 없이는 허용되지 않음. |
| 수출·세금 | 수출세·관세·기타 비용은 공급업체 부담. |

4. 주의사항

1. 입찰 일정

   • 표준 입찰 마감: 2025‑11‑04 18:00 (서류는 11‑03 18:00까지 도착).
   • 가격 입찰: 2025‑11‑11 14:30 (등록 마감 14:00).
   • 가격 입찰 서류: 입찰 신청서(양식), 인감증명·날인, 위임장(대리인 참석 시).

2. 서류 제출 규정

   • 모든 서류는 밀봉·날인·봉투에 봉인 후 제출해야 하며, 반환되지 않음.
   • 영문 사양서·사업자등록증·독점 공급 계약·공급업체 인증서·입찰보증금(양식 4) 등 필수.

3. 보증금·이행보증금

   • 입찰보증금 최소 2.5 % (Performance guarantee insurance) – 계약 체결 전 10일 이내 포기 시 자동 몰수.
   • 이행보증금 10 % – 계약 체결 후 일정 기간 내 제출, 계약 이행 완료 시 해제.

4. 가격·가격 제한

   • 입찰가격은 표준 판매가격에 기반해 산정. <br> - 가격이 국내 일반가격(수출 차이 조정 후)보다 높을 경우 KAIST는 계약 취소 및 초과 금액 환불 청구 가능.

5. 검수·보증·결제

   • 2025 년 결제: 60 % T/T(선금) + 보증금, 40 % 검수 완료 후 지급. <br> - 보증 기간 12 개월, 납품 후 설치 확인 기준으로 적용.

6. 수량·변경

   • 계약 수량 변동은 구매자 서면 승인 없이는 불가.

7. 검사·검수

   • 필요 시 독립 검사관이 지정될 수 있음. <br> - 검사관은 최소 20일 전에 검사 가능 통보를 받아야 하며, 검사 전 20일 이내에 검사용 시설을 제공해야 함. <br> - 검사관이 결함·불일치를 발견하면 전체 수량을 거부할 수 있음. <br> - 검사 통과는 계약 이행 의무를 면제하지 않음.

8. 포장·운송

   • 표준 수출용 포장(해상·항공) 적용. <br> - 포장 상세(내용물, 라벨, 태그 등)를 입찰서에 명시. <br> - 검수용 포장 전 **보호 코팅(페인트)**은 검사 식별에 방해가 되지 않도록 제한.

9. 운송 서류

   • Clean on‑board B/L/Airway Bill, 상세 인보이스, 포장 리스트, 검사 인증서 등 4부 이상을 익스프레스로 항공우편 발송. <br> - 추가로 1부는 선박·항공에 동봉해 전달.

10. 지연·위약금

    • 지연 시 0.075 %/일(최소 10 % 한도) 위약금 적용 → 인보이스 차감 또는 이행보증금에서 차감. <br> - 심각한 지연 시 계약 취소 가능.

11. Force Majeure

    • 지연 사유가 Force Majeure(천재지변·전쟁·정부조치·폭동·파업·검역 등)라면 10일 이내에 서면으로 통보하고, 공공기관 발행 확인 서류를 제출해야 함. <br> - KAIST는 통보 접수 후 영향 범위를 최종 판단.

12. 분쟁 해결

    • 모든 분쟁·소송·클레임은 서울에서 국제중재규칙에 따라 3인 중재재판(구매자 1명, 계약자 1명, 중립 중재인)으로 해결. <br> - 중재판정은 최종적이며, 계약 당사자는 이를 수용해야 함.

13. 언어·법률

    • 입찰·계약 관련 모든 문서는 영어로 작성(특별 허가 시 제외). <br> - 계약은 대한민국 법률에 따라 해석·적용.

14. 연락처

    • 계약 절차 문의: Howard S.H. Kim (Procurement Team, 042‑350‑2334) <br> - 물품 사양 문의: Hwang Jinok (Quantum Research Fab, 042‑350‑8543)

15. 기타

    • Sub‑contract은 계약서에 명시된 공급업체·제조업체 외의 경우 구매자 서면 승인 필요. <br> - 수출세·관세는 공급업체 부담. <br> - 은행 수수료·변경은 해외 공급업체 부담.

요약: KAIST는 해외·국내 공급업체를 대상으로 1세트 ICP‑RIE Oxide 전용 장비를 조달합니다. 입찰은 표준 입찰 → 가격 입찰 순으로 진행되며, 최저 입찰가가 선정 기준입니다. 주요 기술 사양은 RF·바이어스 전원 ≥2 kW/≥600 W, 식각 속도 ≥100 nm/min, 베이스 압력 ≤5 × 10⁻⁶ Torr, 온도 제어 ‑20~+40 °C 등 고성능 요구조건을 포함합니다. 입찰 시 서류·보증금·이행보증금·가격·보증·지연·Force Majeure 등 다수의 계약 조항을 준수해야 하며, 분쟁은 국제중재로 해결됩니다. 모든 문서는 영어로, 주소는 KAIST 291, Daehak‑ro, Yuseong‑gu, Daejeon, 34141, Republic of Korea.