울산과학기술원 포토닉 와이어 본더 시스템 [Photonic wire bonder system]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UNIST)은 포토닉 와이어 본더 시스템을 도입해 3‑차원 광파동가이드, 마이크로‑광학소자 및 자유형 구조를 고정밀·저손실로 직접 결합할 수 있는 완전 자동화 플랫폼을 구축하고자 합니다. 본 시스템은 3D 나노‑프린팅 모듈, 전·후처리 모듈, 그리고 소프트웨어·IP 라이선스를 포함한 턴키 형태로 공급되며, 납품은 구매 주문 수령 후 6개월 이내에 이루어져야 합니다.

2. 주요 자격요건

• 전체 시스템 제공 가능 : 3D Nano‑printing Module, Pre‑& Post‑processing Module, Software & IP License with Support Package를 한 번에 납품할 수 있는 업체.
• 기술 사양 충족 : 아래 3‑4항에 명시된 광학·정밀제어·공정·소프트웨어 성능 기준을 모두 만족.
• ISO 9001(또는 동등) 품질 인증 보유 및 제조·설치·유지보수 실적이 있는 기업.
• 국내 설치·유지보수 역량 : 현장 설치, 현장·원격 교육, 현장 서비스(A/S) 제공 가능.
• 소프트웨어·IP 제공 가능 : UNIST에 영구적인 사용 권한을 부여하고, 정기적인 업데이트·프로세스 라이브러리 접근을 보장.
• 공공조달 규정 준수 : 한국 공공조달법·지침(예: K‑C‑B, K‑B‑C) 및 부정·이해충돌 방지 절차를 충족.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• 광학 시스템

  • Femtosecond pulsed laser (λ = 780 nm, 출력 > 140 mW, 펄스 지속시간 ≤ 100 fs)
  • Interchangeable high‑NA objectives (NA 0.85 ~ 1.4)
  • Write field ≤ 400 µm × 330 µm, voxel positioning < 50 nm, marker detection accuracy < 100 nm

• 모션·스테이지 시스템

  • X/Y travel ≤ 300 mm, Z travel ≤ 20 mm
  • Stage resolution < 20 nm, objective resolution < 10 nm
  • Working area ≤ 300 mm × 300 mm, compatible with photonic chips, fiber arrays, wafers up to 300 mm

• 이미징·정렬 시스템

  • Integrated confocal 3‑D imaging (offset < 100 nm relative to writing beam)
  • Dual camera (top & bottom view)
  • Alignment accuracy < 100 nm (3‑σ typical)

• 공정 통합 모듈

  • Photoresist dispensing accuracy < 50 µm
  • Development: ≥ 2 selectable solvents, integrated solvent system
  • UV curing: local & flood exposure, automated encapsulation
  • Fully automated workflow (dispensing → development → curing → encapsulation)

• 소프트웨어 패키지

  • Software‑defined fabrication processes for photonic wire bonds, microlenses, arbitrary 3‑D structures (Si, SiN, InP, GaAs, fiber arrays)
  • 3‑D routing design engine, extensive image‑processing toolbox, custom interface 가능
  • No hardware 변경 필요, 정기적인 업데이트 및 프로세스 라이브러리 제공

• 프린팅·광학 성능

  • Feature size < 200 nm, shape accuracy ± 50 nm
  • Surface RMS < 10 nm (curved) / < 2 nm (flat)
  • Operational wavelength range 530 ~ 2000 nm, full C‑band & O‑band compatibility
  • Insertion loss 1.5 ~ 2.5 dB per photonic wire bond, coupling loss 0.6 ~ 2.5 dB per facet‑attached microlens

• 기타

  • Housing: vibration‑isolated, production‑grade optomechanical design
  • Warranty: 1 year (parts & labor) after installation
  • Documentation: operation manuals, factory acceptance test report
  • Training: on‑site + remote, within 1 month of delivery

4. 주의사항

• 턴키 공급 의무 : 위 3‑4항에 명시된 모든 모듈·소프트웨어·옵션을 하나의 시스템으로 제공해야 함.
• 납품 일정 : 주문 접수 후 6개월 이내 납품이 필수이며, 지연 시 계약 해지·패널티 적용 가능.
• 보증·A/S : 설치 완료 후 1 년 동안 부품·노동에 대한 무상 보증 제공, 유지보수 계획 명시 필요.
• 교육·문서 : 현장·원격 교육을 반드시 제공하고, 운영 매뉴얼·공장 인수시험 보고서를 납품 전 제출해야 함.
• 결제 조건 : 납품 시 90 % 지급, 최종 검수(공장 인수시험 및 교육 완료) 후 10 % 지급.
• 전력·시설 연계 : 현지 유틸리티(전력·냉각·공기) 연결 포함, 설치 전 UNIST 시설팀과 협의 필요.
• 공공조달 규정 : 입찰 참가자는 한국 공공조달법·지침, 부정·이해충돌 방지 절차를 철저히 준수해야 함.
• 소프트웨어·IP 권리 : UNIST에 영구적인 사용 권한을 부여하고, 향후 표준·인터페이스 변화에 맞춰 업데이트 제공.
• 시스템 안정성 : 진동‑격리 설계 및 생산‑그레이드 하우징을 반드시 구비해야 하며, 실험실·공정 환경(온도·습도 등)에서의 신뢰성 검증 필요.

위 항목을 모두 충족하는 경우에만 본 입찰에 참여할 수 있습니다.