울산과학기술원 이온주입장치 [Ion implant]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UNIST)은 반도체 및 양자 재료 연구·개발에 필수적인 이온주입장치(Ion Implant) 를 신규 도입하고자 합니다. 본 사업은 6‑인치 웨이퍼(Φ150 mm, 두께 675 ± 25 µm)를 대상으로 다양한 이온(P, B, Si, Ar, N₂, He, C, N)을 10 ~ 780 keV 에너지 범위와 1 × 10¹¹ ~ 1 × 10¹⁶ ions/cm² 도즈로 정밀하게 주입할 수 있는 전·진공 시스템을 전체(메인 시스템, 진공 펌프, 웨이퍼 핸들링, 제어·냉각·보조 설비 포함) 제공·설치하는 것을 목표로 합니다.

2. 주요 자격요건

• 방사선 장비 수입 허가 및 원자력안전위원회(NSSC) 승인을 보유한 업체
• HSK No. 2321110601, Item No. 18543110000 등 정부물품분류코드에 부합하는 물품 제공 가능
• 6‑인치 이온주입장치 제조·납품 실적(최근 5년 이내) 보유
• 스페어 부품·옵션 부품(예: 유지보수 도구키트, 캘리브레이션 키트, 6‑인치 13‑슬롯 카트리지 8 pcs 등) 포함 제공 가능
• 24개월 보증 및 사후 서비스(A/S) 체계 확보
• 설치·운반 요구사항(시스템 본체 2 500 × 6 280 × 2 574 mm, 최소 반입구 1 800 × 2 500 mm, 총 중량 약 12 800 kg)을 충족할 수 있는 물류·현장 지원 능력
• FCA Japan 무역조건 및 선하증권(L/C) sight 결제 조건에 동의 가능

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양 |
|------|-----------|
| 이온 주입 메인 시스템 | • IHC‑type 이온소스 (W 재질) 1세트 <br>• Mass‑analysis magnet (90° polarization) <br>• HV‑Q lens, Acceleration tube <br>• Scanner, Atmospheric robot (single‑arm, single‑end‑effector) <br>• Vacuum robot (single‑arm, dual‑end‑effector) |
| 이온 종류 | P, B, Si, Ar, N₂, He, C, N 등 다중 이온 주입 가능 |
| 가속기 에너지 범위 | • Single charge: 10 ~ 260 keV <br>• Double charge: 261 ~ 420 keV <br>• Triple charge: 421 ~ 780 keV |
| 빔 품질 | • Beam current stability ≤ ±10 % (1 h) <br>• Beam parallelism ≤ ±0.3° <br>• Implant uniformity ≤ 0.5 % (σ/ρs) |
| 도즈 범위 | 1 × 10¹¹ ~ 1 × 10¹⁶ ions/cm² |
| 이온 주입 각도 | Tilt 0 ~ 60°, Twist 0 ~ 359° |
| 진공 사양 | • Ion source chamber ≤ 7.0 × 10⁻⁴ Pa <br>• Beam line chamber ≤ 7.0 × 10⁻⁵ Pa <br>• End station chamber ≤ 7.0 × 10⁻⁵ Pa <br>• Ultimate pressure: ion source ≤ 4.0 × 10⁻⁴ Pa, beam line ≤ 5.0 × 10⁻⁵ Pa, end station ≤ 7.0 × 10⁻⁵ Pa |
| 진공 펌프 | • Ion source: TMP‑403C 2 unit, TMP‑1003C 1 unit, Dry pump EV‑S20P 1 unit <br>• Beam line: Cryo‑pump U8H 1 unit <br>• End station: Cryo‑pump U12HL 1 unit, Cryo‑compressor C30MVRT 1 unit <br>• Lock room: Cryo‑pump U8H 1 unit, Dry pump EV‑S20P 1 unit |
| 압력 센서 | Pirani gauge (Pa) 9 unit, Ionization vacuum gauge (Pa) 4 unit |
| 냉각·제어 | DI‑water 순환형 냉각 시스템, Windows‑PC 기반 Sequencer (HD Mirroring), Beam PC, End‑station Sequencer, Vacuum Sequencer, 자동 스캔 gain/offset 조정 장치 |
| 스페어·옵션 부품 | • Maintenance tool kit (AI2099‑200A) <br>• Calibration tool kit (AI2208‑201A) <br>• 6‑inch 13‑slot cassette 8 pcs <br>• Deceleration unit (10 ~ 32 keV) <br>• Beam filter, UPS, Down‑stairs dry‑pump & cryo‑compressor 등 |
| 설치·운반 | 시스템 본체 2 500 × 6 280 × 2 574 mm, 최소 반입구 1 800 × 2 500 mm, 유지보수 면적 4 500 × 7 280 × 3 000 mm × 2, 총 중량 ≈ 12 800 kg |

4. 주의사항

• 방사선 장비 수입 허가 및 NSSC(핵안전위원회) 승인을 반드시 사전에 확보하고, 관련 서류를 제출해야 함.
• 설치·운반 제약(시스템 크기·무게·반입구)을 고려해 현장 물류 계획을 수립해야 하며, 바닥 하중 검증이 필요함.
• 납기: 최초 L/C 개설 후 540 일 이내 납품 요구.
• 결제 조건: 선적 시 90 % L/C, 최종 Acceptance Certificate 발급 후 10 % L/C at sight.
• 보증: Acceptance Certificate 발급일 기준 24개월 보증 적용.
• 무역조건: FCA Japan → 수입 통관·관세·운송 책임은 입찰자(구매자)에게 있음.
• 가스 공급: 외부 가스 병(BF₃, PH₃ 등) 연결 및 교체는 현장 담당자가 수행, 가스 압력 0.050 ~ 0.098 MPa.
• 문서·인증: 방사선 안전, 전자파, 전기·진공 관련 인증서와 매뉴얼 제공 필수.
• 스페어·옵션 부품 포함 여부를 명확히 계약서에 명시하고, 필요 시 추가 옵션을 별도 제안할 수 있도록 준비.

위 사항을 모두 충족하는 업체만이 입찰에 참여 가능하며, 제안서 제출 시 상세 사양·가격·납기·보증·인증·물류 계획을 체계적으로 기술해야 합니다.