울산과학기술원 유도결합플라즈마 화학기상증착기 [Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UT)은 양자 광자소자, 통합 광학 회로, 스핀‑큐비트 및 양자 메모리 등 차세대 양자‑광학·반도체 연구에 필수적인 저‑손실·저‑수소·저‑스트레스 절연 박막(SiO₂·Si₃N₄) 증착을 위한 Inductively Coupled Plasma‑Chemical Vapor Deposition (ICP‑CVD) 시스템을 구입합니다. 시스템은 200 mm(8‑inch) 웨이퍼를 대상으로 저온(≤150 °C)·고온(≤400 °C) 양쪽 모두에서 균일한 증착을 보장해야 하며, 연구 협업 및 대형 면적 디바이스 제작에 활용될 예정입니다.

2. 주요 자격요건

• 기술 사양 충족

  • 200 mm 웨이퍼 대응, 온도 20 °C ~ 400 °C, SiO₂·Si₃N₄ 증착 가능
  • SiO₂ 증착률 ≥ 25 nm/min, Si₃N₄ ≥ 8 nm/min
  • 두께 균일성 ≤ ±3 % (200 mm 웨이퍼), 런‑투‑런 반복성 ≤ ±3 %
  • 굴절률 SiO₂ 1.44‑1.50, Si₃N₄ 1.95‑2.05, 필름 스트레스 ≤ ±150 MPa, 수소 함량 ≤ 5 % (≤150 °C)

• 플라즈마·가스·진공 시스템

  • ICP RF ≥ 3 kW, 자동 매칭 유닛 포함
  • 바이어스 RF ≥ 300 W, 자동 매칭 유닛 포함
  • 가스 라인 ≥ 8개(위험가스 포함), 최대 흐름 ≥ 200 sccm
  • 호환 가스: SiH₄, N₂, O₂, Ar, SF₆

• 소프트웨어

  • 레시피 작성·자동 제어·데이터 분석 가능한 전용 프로세스 소프트웨어 제공

• 설치·시운전·훈련

  • 현장 설치·시운전·기본 사용자 교육 포함

• 보증·인도 조건

  • Incoterms 2020 CIP, L/C 개설 후 300 일 이내 납품
  • 12개월 보증 (납품일 기준 1년)

• 결제 조건

  • 90 % 선적 시 지급, 10 % L/C 수락 시 지급

• 공급 범위

  • 시스템 매뉴얼(USB), 포장·크레이트, ancillaries(케이블·설치 부품·매뉴얼·포장) 포함

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 핵심 요구사항 |
|------|---------------|
| 주 챔버 | ICP‑CVD 메인 챔버 1세트 |
| 플라즈마 소스 | ICP RF ≥ 3 kW, 자동 매칭, 바이어스 RF ≥ 300 W, 자동 매칭 |
| 로드락·웨이퍼 핸들링 | 200 mm 웨이퍼용 로드락 및 자동 핸들링 시스템 1세트 |
| 가스 공급 시스템 | ≥ 8 라인(위험가스 포함), 최대 흐름 ≥ 200 sccm, SiH₄·N₂·O₂·Ar·SF₆ 등 호환 |
| 진공 펌프 | 터보 펌프 + 건조 펌프(가열 기능) 1세트 |
| 전극·온도 제어 | 20 °C ~ 400 °C, 냉각·가열 제어 포함 |
| 제어 시스템 | PC·모니터 포함 1세트 |
| 소프트웨어 | 레시피 생성·자동 제어·데이터 분석 가능 |
| Ancillaries | 케이블·설치 부품·매뉴얼·포장 포함 |

4. 주의사항

• 인코텀즈·납품 기한: L/C 개설 후 300 일 이내 CIP 조건 충족 필수.
• 보증·품질: 12개월 보증 제공, 납품 후 1년 동안 품질 보증 및 유지보수 지원.
• 현장 시운전: 설치·시운전·기본 교육을 현장에 직접 수행해야 하며, 시운전 성공 여부가 계약 이행에 직결됩니다.
• 위험가스 관리: 가스 라인에 위험가스(예: SiH₄, SF₆ 등) 포함 시 안전 인증·취급 매뉴얼을 함께 제출해야 함.
• 소프트웨어 검증: 제공된 소프트웨어가 실제 레시피와 자동 제어에 적용 가능한지 사전 테스트 보고서 요구 가능.
• 결제 흐름: 90 % 선적 시 지급, 10 % L/C 수락 시 지급 – 은행 거래 절차와 현금 흐름에 유의.
• 규격 검증: 두께 균일성·증착률·수소 함량 등 성능 수치를 검증할 수 있는 시험·인증 보고서 제출이 요구될 수 있음.
• 공급업체 자격: 국내·해외 공인 조달업체 등록 여부, ISO 9001·CE 등 관련 인증 보유 여부 확인 필요.
• 품목번호: 18486.20‑400023990398 (HSK·정부 물품분류코드 포함) – 입찰 서류 작성 시 정확히 기재.

위 내용은 공고에 명시된 핵심 사항을 요약한 것으로, 입찰 참가 시 반드시 전체 공고문(첨부 파일 포함)과 최신 규정·법령을 확인하시기 바랍니다.