울산과학기술원 양자 절연막 식각 장치 [Quantum dielectric Etcher]

1. 사업 개요

• 울산과학기술원(UNIST)이 양자·광자 디바이스 제조 연구에 사용할 고성능 ICP 건식 식각기(Quantum dielectric Etcher) 를 구매·설치하는 사업이며, SiN·SiO₂ 얇은 막의 정밀·대량 식각을 위한 핵심 연구 장비를 확보한다.
• 장비는 플라즈마‑ICP 소스, ALE(Atomic Layer Etching) 제어, End‑Point Detector(EPD), 독립형 설계(반도체·MEMS 라인 비통합) 등 최신 기술을 모두 포함한 통합 솔루션 으로, 납품·설치·시운전·무상 교육을 포함한 전 과정을 제공한다.

2. 주요 자격요건

• IC P 건식 식각기 제조·공급 실적 및 현장 설치·시운전 경험이 있는 기업
• ISO 9001(또는 ISO 14001) 등 국제·국내 품질·품질보증 인증 보유
• 12개월 이상 보증 제공 능력 및 보증 기간 연장 가능 여부
• 현장 엔지니어가 무상 설치·시운전·교육을 수행할 수 있는 조직·인력 확보
• CIP(Incoterms 2020) 기준 **납품 기한(300일 이내)**을 준수할 물류·통관 역량
• 관련 부품·소프트웨어·예비 부품 공급 및 유지보수 체계 보유
• 공공기관 전자입찰 시스템에 참여 가능한 사업자등록증·입찰 참가 제한 없음

3. 핵심 기술·물품 요구사항

• 플라즈마·ICP 소스: RF ICP 전력 ≥ 3 kW, 주파수 2 MHz, 자동 매칭 유닛 포함
• RF 바이어스: 전력 ≥ 300 W, 저전압(0.1 ~ 10 %) 제어, ALE 제어 ≤ 10 ms, 바이어스 주파수 13.56 MHz
• 챔버: 알루미늄 메인 모듈, 면적 ≤ 979 mm × 388 mm, RF 차폐 뷰포트, EPD 포트, EMO 버튼, 압축공기·냉각수·가스 라인 ≥ 1 set
• 로드락: 100 / 150 / 200 mm 웨이퍼 호환, 격리 밸브·센서·전이 팔 포함
• 기판 전극 키트: He‑클램핑, 전기·히터 키트, 100/150/200 mm quartz 클램프, carrier platen, 전기 히터 최대 400 °C
• 가스 공급: Mass Flow Controller(최대 8라인), 가스 라인 가열·바이패스(위험 가스)
• 진공·펌프: CM 게이지, 고진공 게이지, 터보 분자 펌프(N₂) 속도 ≥ 1,360 L/s, 적응형 압력 제어, 챔버·펌프 가열 키트(≤ 60 °C)
• 보조 장비: 백킹 드라이 펌프(N₂) ≥ 110 m³/h, 로징 드라이 펌프 ≥ 14 m³/h, 10 kW 급 chiller, 레이저 인터페로미터(670 nm) EPD
• 소프트웨어: GUI 기반 제어·레시피 관리·플라즈마 스트라이크 로그 시스템 포함
• 성능 사양
  • SiO₂ (≤ 200 mm 웨이퍼) : Etch rate > 200 nm/min, Selectivity > 1.5 : 1, Profile 88 ± 2°, Uniformity < ±5 % (wafer‑내), < ±3 % (wafer‑간)
  • SiNx (≤ 200 mm 웨이퍼) : Etch rate > 200 nm/min, Selectivity > 1 : 1, Profile 90 ± 3°, Uniformity 동일

4. 주의사항

• 납품 기한: 신용장(L/C) 발행일로부터 300일 이내에 CIP(Incoterms 2020) 조건으로 납품해야 함.
• 보증: 최종 Acceptance Certificate 발행 후 최소 12개월 보증 제공, 연장 가능 여부 확인 필요.
• 설치·시운전·교육: 공급업체가 무상으로 현장 엔지니어를 파견해 설치·시운전·온‑사이트 교육을 수행해야 함.
• 유틸리티 연결: 전기·압축공기·냉각수·가스 연결은 포함이며 별도 비용 청구 불가.
• 독립형 설계: 장비는 반도체·MEMS 라인과 연계되지 않는 독립형이어야 하며, 입자 발생을 최소화하도록 설계·시공해야 함.
• 첨단 기능 구현: ALE, EPD(레이저 인터페로미터), RF 바이어스 정밀 제어 등 핵심 기술을 실제 사양대로 구현 가능해야 함.
• 부품·예비 부품: 향후 교체·예비 부품 공급 체계 및 유지보수 계약 포함 여부를 입찰 단계에서 검토.
• 입찰 절차: 전자입찰 시스템 이용, 사업자등록증·입찰 참가 제한 여부 확인, 입찰서 제출 시 규격서 상세 사양(챔버 면적, RF 파워, 가스 라인 수 등) 충족 여부 검증 필요.

위 내용은 입찰 참여 시 반드시 검토해야 할 핵심 포인트이며, 제시된 성능·규격·조건을 모두 만족시키는 솔루션을 제안해야 선정 가능성이 높습니다.