울산과학기술원 UV 마스크 정렬 노광기 [UV Mask Aligner]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UNIST)은 양자·반도체 디바이스 제조를 위한 핵심 장비인 UV 마스크 정렬 노광기를 구매하고자 합니다. 본 사업은 포토리소그래피 공정에 사용되는 UV‑LED 기반 노광 시스템, 현미경(TSA/BSA), 정밀 정렬·반진동·본딩 툴, GUI·소프트웨어 및 다양한 마스크·웨이퍼 Chuck을 포함한 턴키 솔루션을 제공하는 것을 목표로 하며, 납품 후 10개월 이내 설치·시험 가동과 1년 무상 보증·현장 교육을 필수로 요구합니다.

2. 주요 자격요건

• 반도체·포토리소그래피 장비 제조·공급 경험이 풍부하고, 해당 분야 국제 인증을 보유한 업체
• **ISO 9001(또는 동등 품질 관리 인증)**을 보유하고, 품질 보증 체계가 확립된 기업
• UNIST(또는 국가조달) 등록 공급업체이며, 국내·외 법적·규제 요건을 모두 충족하는 기업
• UV LED 기반 노광기·현미경·정렬 시스템 등 전체 시스템을 턴키로 제공할 수 있는 기술·생산 역량을 갖춘 기업
• 10개월 내 납품이 가능한 물류·생산 일정 관리 능력 보유
• 설치·시운전·현장 교육을 수행할 전문 엔지니어를 무상으로 제공할 수 있는 조직
• 1년 무상 보증 및 사후 유지보수 서비스를 제공할 수 있는 계약 조건 충족

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양 |
|------|-----------|
| UV 마스크 정렬 노광기 | • 최대 웨이퍼 직경 200 mm <br>• 접촉 모드: Soft, Hard, Vacuum, Proximity <br>• Proximity 노출 Gap: 1 ~ 300 µm <br>• Gap 설정 정확도: ±1 µm |
| UV Light Exposure Optic | • UV LED 램프 (350 ~ 450 nm) <br>• Light Intensity Uniformity: < 4 % <br>• Constant Power 모드 |
| TSA/BSA Microscope | • Objective: 5×, 10× <br>• TSA 움직임 범위: X 8 ~ 125 mm, Y ‑21 ~ 23 mm <br>• BSA 움직임 범위: X 8 ~ 125 mm, Y ± 12 mm <br>• 디지털 줌 카메라: 2× |
| Alignment System | • 마스크 정렬 이동 범위: X ± 5 mm, Y ± 5 mm, θ > ± 3° <br>• TSA 정확도: < 0.5 µm <br>• BSA 정확도: ≤ 1.5 µm |
| Antivibration System | – (반진동 성능 및 설치 요구) |
| Bonding Alignment Tool | • 이동 범위: X 8 ~ 125 mm, Y ± 12 mm <br>• 정확도: ± 2 µm |
| GUI·Software | • Windows 기반 OS, ≥ 21 인치 모니터 <br>• 전용 소프트웨어 제공 (제어·시뮬레이션 포함) |
| Mask Holders | • Shifted Mask Holder, 5‑inch, 7‑inch, 9‑inch 옵션 |
| Vacuum Contact Wafer Chuck | • Mini 10 mm × 10 mm, 4‑inch, 6‑inch, 8‑inch Chuck 포함 |
| 기타 | • 전체 시스템 구성·부품 호환성, 전기·기계 안전 규격, 전자파 인증 등 |

4. 주의사항

• 납품 일정: L/C 개설 후 10개월 이내에 전체 시스템을 인도해야 함. 일정 지연 시 입찰 무효·불이익 가능.
• 결제 조건: 90 %는 물품 인도 시, 나머지 10 %는 현장 최종 인수 후 지급.
• 설치·시운전·현장 교육: UNIST 지정 전문 엔지니어가 무상 수행; 별도 비용 청구 금지.
• 보증: 설치 완료 후 1년 무상 보증 제공, 보증 기간 내 고장·수리· 부품 교체 등 서비스 포함.
• 품질·규격 준수: 모든 사양은 위 표에 명시된 수치를 충족해야 하며, 사전 승인 없이 사양 변경 불가.
• 문서·매뉴얼: 기술 사양서, 유지보수 매뉴얼, 소프트웨어 라이선스 및 사용자 매뉴얼을 모두 제출해야 함.
• 법적·규제: 한국 조달법·국제 무역 규정(예: 원산지, 수입 허가) 및 UNIST 내부 구매 규정을 준수해야 함.
• 기타: 계약 체결 전 가격·조건·납품 일정을 서면 확인하고, 모든 변경 사항은 서면으로 승인받아야 함.

위 내용을 바탕으로 입찰 제안서를 준비하시기 바랍니다.