[11-11461]저전압 고분해능 전계방출형 주사전자현미경 [Lowvoltage highresolution field emission scanning electron microscope]

1. 사업 개요

포항공과대학교(포스텍)는 **저전압·고분해능 전계방출형 주사전자현미경(FE‑SEM)**을 도입하여, 배터리·자성·자화 가능 소재 등 고해상도 이미징이 요구되는 차세대 이차전지 및 전자재료 연구에 활용하고자 합니다. 이번 입찰은 1 SET (주 장비 + 필수 보조 장비) 를 계약체결 후 8개월 이내에 납품·설치·시운전·현장 교육까지 포함한 전체 시스템 구축을 목표로 하며, 장비 자산번호 11503000 로 등록됩니다.

2. 주요 자격요건

• 제조·공급 실적: 저전압·고분해능 FE‑SEM(전계방출형) 분야의 국내·해외 제조업체 또는 인증된 유통·대리점.
• 공인 엔지니어: 설치·시운전·현장 교육을 무상으로 수행할 수 있는 자격을 갖춘 엔지니어(인증서 보유) 파견.
• 보증 기간: 장비 설치·검수 완료 후 12개월 보증을 제공.
• 납기 준수: 계약 체결 후 8개월 이내에 전체 시스템 납품 및 설치 완료.
• 자산 등록: 납품된 장비에 11503000 자산번호를 부여·관리.
• 필수 부속품: 아래 부속품(운영 테이블, 압축기, 에어‑쿨링 칠러, UPS 5 kVA, 방진 테이블) 모두 포함하여 제공.
• 소프트웨어·라이선스: QUANTAX‑ 기반 EDS·EBSD 소프트웨어와 Dongle 라이선스 일체 제공.
• 품질·안전 인증: ISO 9001, CE, KC(전기안전) 등 해당 국가·국제 인증 보유 및 인증서 제출.
• 공정·투명성: 입찰·계약 과정에서 공정·투명한 윤리구매 원칙을 준수한 서류·절차 제출.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

3‑1. 주 장비(FE‑SEM)

| 항목 | 최소 사양 |
|------|-----------|
| 전자총 | Schottky field emitter + 자동 런‑업(안전 제어) |
| 대물렌즈·컬럼 | 전자광학 컬럼 1 set, 가속 전압 0.02 kV ~ 30 kV (10 V 단위 연속 가변) |
| 해상도·확대 | 0.6 nm @30 kV (STEM) / ≤0.7 nm @15 kV / ≤1.2 nm @1 kV (SE) / 8× ~ 2,000,000× 확대 |
| 프로브 전류·안정성 | 3 pA ~ 20 nA, 0.2 %/h 이하 변동 |
| 시료 챔버 | 내경 340 mm, 높이 270 mm 이상; 5축 전동 eucentric 스테이지, 듀얼 조이스틱 제어 |
| 스테이지 사양 | X/Y = 130 mm, Z = 50 mm, Tilt = ‑4° ~ 70°, Rotation = 360° 연속 |
| 반복정밀도 | X/Y = 3 µm (0° tilt) |
| 시료 교환 | 80 mm 에어락 + 챔버 도어 교환 시스템 |
| 검출기 | • 챔버‑내 Everhart‑Thornley SE detector<br>• 1st In‑column SE detector (on‑axis, 광전증폭기 결합)<br>• 2nd In‑column BSE detector (on‑axis, 고효율 scintillator)<br>• Pneumatic retractable 5‑sector annular BSE detector<br>• CCD‑camera (IR‑illumination)<br>※ 모든 검출기 동시 작동 시 재초점 불필요 |
| 제어·관측 시스템 | Windows 10, Intel i5 이상, 16 GB RAM, 2× 32″ 16‑bit 디스플레이, 4:3 format, 32 K×24 K 픽셀 저장, 자동 초점·보정·워블·회전·틸트 보정 기능 |
| 진공 시스템 | Purge gas: dry N₂, Ultimate pressure ≤2.0 × 10⁻⁴ Pa, Back‑pump: oil‑free, Turbo molecular pump ≥260 L/s, Ion‑getter pump 2 set (UHV) |
| EDS (Flat‑QUAD SDD) | • 60 mm² (4 × 15 mm²) active area, < 129 eV (Mn Kα) 에너지 해상도<br>• B ~ Cf 원소 검출 가능, 슬루 윈도우, Peltier 냉각, 최대 입력 카운트 > 4 M cps<br>• Motorized detector retraction, X‑Flash 5060용 셔터, 전용 소프트웨어 (Spectrum, Quant, Equant, Uquant, Scan, Line, Map, EMap, RemoteLink, Report, User, Project, TChart, SEMLink, Qline, Qmap, Hypermap, Zeta‑Quant, Drift‑Correction 등) |
| EBSD | • CMOS/pixelated sensor, 16 × 16 mm², 160 µm × 160 µm 픽셀, 15‑bit 동적범위, Direct electron detection<br>• Augmented ARGUS TM, COD(결정학 오픈 데이터베이스) 연동, 다양한 분석·시각화 툴 (Signal assistant, Calibration, Band detection, Indexing, TKD, Phase editor, IPF, Euler, Grain size/shape, Schmid factor, Misorientation, ODF, 3D pole figures 등) |
| Nano‑Indenter | SEM PicoIndenter:<br>• Transducer – Max 250 mN (Indent), 100 mN (Tension), Load‑noise < 5 µN, Normal‑force resolution ≤ 60 nN, Displacement resolution ≤ 0.06 nm, Thermal drift ≤ 2 nm / sec<br>• Stage – Travel > 3 mm, Sensitivity ≤ 7 nm<br>• Control – 39 kHz acquisition, 78 kHz feedback loop, 16‑bit DAC/24‑bit ADC, DSP 기반, USB 2.0 |
| 보조 장비 | 운영 테이블 1 ea, 50/60 Hz 압축기 1 set, Air‑cooled chiller 1 set, UPS 5 kVA 1 set, Anti‑vibration table for FE‑SEM 1 set |

3‑2. 기타 요구사항

• 소프트웨어: QUANTAX‑ 기반 EDS·EBSD 소프트웨어와 Dongle 라이선스 포함.
• 데이터 처리: 16‑bit 이미지, 32 K×24 K 픽셀 저장, 고속 라인·맵 스캔, 실시간 스펙트럼·매핑 기능.
• 분석 범위: 배터리 전극·양극·음극, 자성·자화 재료, 기타 고해상도 필요 시료.
• 실시간/인‑시투 분석: 전기화학 충·방전 중 전극 표면 변화 관찰, 나노인덴터를 통한 기계적 응력·변형 측정.
• 환경 제어: 가스‑셔틀·In‑situ 모듈 지원, 시료 보호 및 공기‑민감 시료 분석 가능.

4. 주의사항

• 납기: 계약 체결 후 8개월 이내에 전체 시스템 납품·설치·시운전·현장 교육 완료 필요.
• 설치·시운전·현장 교육: 반드시 자격을 갖춘 인증 엔지니어가 무상으로 수행; 사전·사후 보고서 제출 의무.
• 보증: 검수·설치 완료 후 12개월 보증을 제공해야 하며, 보증 범위에 부품 교체·수리·점검 포함.
• 자산 등록: 납품 시 반드시 11503000 자산번호를 부여하고, 포스텍 자산 관리 시스템에 등록.
• 소프트웨어·라이선스: Dongle 기반 소프트웨어 라이선스, 라이선스 번호 및 유지보수 계약서 포함 제출.
• 진공·검출기 동시 작동: 모든 검출기(SE, BSE, CCD) 동시 사용 시 재초점 없이 정상 동작 가능해야 함.
• 진공 성능: Ultimate pressure ≤ 2 × 10⁻⁴ Pa, Turbo pump ≥ 260 L/s, Ion‑getter pump 2 set 제공 필수.
• 전압·해상도: 저전압(≤ 1 kV)에서도 ≤ 1.2 nm 해상도, 가속 전압 연속 10 V 단계 가변, 프로브 전류 안정성 0.2 %/h 이하.
• 스테이지·조작: 5축 전동 eucentric 스테이지, 듀얼 조이스틱 제어, X/Y = 130 mm, Z = 50 mm, Tilt = ‑4° ~ 70° 범위 제공.
• 보조 장비: 압축기·칠러·UPS·방진 테이블 등 동급 이상 사양이어야 하며, 현장 전원·냉각·진동 제어 요구조건을 충족해야 함.
• 품질·안전 인증: ISO 9001, CE, KC(전기안전) 등 인증서와 시험 성적서 제출.
• 문서·매뉴얼: 사용자 매뉴얼, 유지·보수 매뉴얼, 안전 매뉴얼, 설치·시운전 가이드 포함 제공.
• 공정·투명성: 입찰·계약 과정에서 공정·투명한 윤리구매 원칙을 위반하지 않도록 서류·절차를 철저히 관리.
• 추가 옵션: 표준 사양과 동등·이상인 경우에만 옵션 허용(예: 추가 검출기, 고성능 스테이지 등).

위 사항을 모두 충족하는 업체만 입찰에 참여 가능하며, 제안서 제출 시 각 항목별 상세 사양·검증 방법을 명시해야 합니다.