울산과학기술원 이온주입장치 [Ion implant]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UNIST)은 고체‑양자 스핀 큐비트 및 고성능 반도체 소자 개발에 필수적인 이온주입장치(Ion‑implanter) 를 신규 도입하고자 합니다. 1세트의 완전 자동화 이온주입 메인 시스템(진공 로봇·플라즈마·제어·전원 등 포함)을 구매해 150 mm ± 0.2 mm 실리콘 웨이퍼에 1 × 10¹¹ ~ 1 × 10¹⁶ ions/cm² 범위의 정밀 이온 주입을 수행하고, 다양한 이온(P, B, Si, Ar, N₂, He, C, N 등) 및 10 ~ 780 keV 가속 전자를 활용해 결함‑제어·점‑결함 형성·양자‑디바이스 특성을 최적화할 예정입니다.

2. 주요 자격요건

• 방사선 장비 수입 허가(한국 원자력안전위원회(NSSC) 승인) 및 관련 서류 제출 가능
• UNIST가 제시한 전체 사양(가속 에너지, 빔 전류·균일도, 진공도, 웨이퍼 사양 등) 을 만족하는 이온주입장치 시스템 제공
• 무역조건 FCA Japan에 따라 일본 내 수출·통관·운송이 가능한 물류·통관 역량 보유
• 540일 이내(첫 L/C 개설 후) 납품 가능 및 현장 설치·시험·인수 절차를 수행할 인력·설비 보유
• 24개월 보증(최종 인수증명서 발급 후) 및 유지보수·부품·예비 부품(스패어 파트·옵션 파트) 제공 가능
• ISO 9001·ISO 14001 등 품질·환경 인증 보유(선택 사항, 입찰서 평가 시 가산점)
• 한국·국제 전자·반도체 장비 공급 경험 및 전문 기술 지원·교육 제공 능력

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양 |
|------|-----------|
| 가속 에너지 | 단일 전하 10 ~ 260 keV, 이중 전하 261 ~ 420 keV, 삼중 전하 421 ~ 780 keV |
| 빔 전류 안정성 | 1 시간 내 ±10 % 이하 |
| 빔 균일도 | 웨이퍼 내 σ/ρ < 0.5 % (1σ) |
| 이온 종류 | P, B, Si, Ar, N₂, He, C, N 등 (가스 공급 방식 포함) |
| 웨이퍼 사양 | Si φ150 mm ± 0.2 mm, 두께 675 ± 25 µm, Warpage ≤ 60 µm, Oxide ≤ 100 nm, Orifla |
| Dose 범위 | 1 × 10¹¹ ~ 1 × 10¹⁶ ions/cm² |
| 주입 각도 | Tilt 0 ~ 60°, Twist 0 ~ 359° |
| 진공도 | Ion source ≤ 4.0 × 10⁻⁴ Pa, Beam line ≤ 5.0 × 10⁻⁵ Pa, End‑station ≤ 7.0 × 10⁻⁵ Pa |
| 주요 구성 | • Mass‑analysis magnet, HV‑Q lens, Accelerator tube, Q‑lens, Scanner, Ground magnet, Straight cup <br>• Atmospheric robot (single‑arm, 1‑end‑effector) <br>• Vacuum robot (single‑arm, dual‑end‑effector) <br>• Ion source (IHC‑type, W‑material parts) <br>• Gas box (PH₃, BF₃, SiF₄, Ar, N₂/He/CO₂) <br>• High‑voltage insulation transformer, Extraction power source, X‑ray suppressor power source <br>• Electrostatic chuck platen, ±2 kV chuck power source <br>• Pirani gauge, Ionization gauge, Atmospheric pressure checker <br>• Turbo‑molecule pumps (TMP‑403C, TMP‑1003C), Cryo‑pumps (U8H, U12HL), Dry pump (EV‑S20P) <br>• DI‑water circulation cooling, Control rack (Windows PC Sequencer), Auto‑scan gain/offset adjuster <br>• Spare/옵션 파트: Calibration kit, Maintenance kit, 6‑inch cassette (13‑slot), Deceleration kit, UPS, Beam filter |
| 설치·운반 | 시스템 본체 (W 2500 mm × D 6280 mm × H 2574 mm) <br>Dry pump (W 280 mm × D 800 mm × H 400 mm) <br>Cryo compressor (W 453 mm × D 510 mm × H 680 mm) <br>최소 운반 입구 (W 1800 mm × H 2500 mm) <br>유지·보수 구역 (W 4500 mm × D 7280 mm × H 3000 mm) |
| 중량 | 시스템 ≈ 12 800 kg, Dry pump ≈ 60 kg, Cryo compressor ≈ 135 kg |
| 안전·규제 | 방사선 장비 수입 허가 필요, NSSC 승인 절차 필수 |

4. 주의사항

1. 방사선 장비 수입 허가 – 입찰 전 반드시 원자력안전위원회(NSSC) 수입 승인을 획득해야 하며, 관련 허가증·시험성적서 등을 제출.
2. 납기·결제 조건 – 첫 L/C 개설 후 540일 이내에 최종 납품·인수 완료가 필수이며, 계약금의 90 %는 선적 시, 나머지 10 %는 최종 인수증명서 발급 후 지급.
3. 무역조건 – FCA Japan(운송인 인도) 적용이므로, 일본 내 통관·수출 절차를 담당할 물류 파트너와 계약 필요.
4. 보증·유지보수 – 24개월 보증(최종 인수증명서 발급 후) 및 10 % 계약금은 인수 후 보증 이행 확인 시 지급. 예비 부품·스패어 파트(칼리브레이션 키트·UPS·빔 필터 등) 제공이 계약에 포함돼야 함.
5. 설치 공간·운반 – 최소 1800 mm × 2500 mm 운반 입구 확보, 시스템 본체 및 유지·보수 구역에 지정된 치수·높이·무게를 고려한 현장 레이아웃 설계 필요.
6. 품질·인증 – ISO 9001·ISO 14001 등 국제 품질·환경 인증을 보유한 경우 평가 가산점이 부여될 수 있음.
7. 기술 지원·교육 – 납품 후 현장 설치·시운전·운용 교육, 그리고 정기적인 유지·보수 기술지원(스패어 파트 교체·캘리브레이션) 제공이 계약 필수 요건.

위 사항을 모두 충족하면서 UNIST의 기술·연구 목표에 부합하는 고성능 이온주입장치를 제안해 주시기 바랍니다.