울산과학기술원 양자 실리콘 식각 장치 [Quantum Silicon Etcher]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UNIST)은 실리콘( Si ) 식각 공정 연구·개발을 위한 양자 실리콘 식각 장치(Quantum Silicon Etcher) 를 도입하고자 합니다. 이 장비는 나노구조·MEMS·양자 디바이스 프로토타입 제작에 필요한 고정밀, 고선택성, 이방성(anisotropic) 식각 능력을 제공하며, RF·ICP 플라즈마와 온도·압력 제어, 레이저 기반 엔드포인트 검출 등 최신 반도체 공정 기술을 일체화합니다.

2. 주요 자격요건

• 반도체·플라즈마 식각 장비 제조·공급 경험(최소 3 년 이상)
• 완전 턴키 시스템(본체·보조 펌프·소프트웨어·매뉴얼·예비 부품 포함) 제공 가능
• RF/ICP 플라즈마 발생 및 자동 매칭 시스템(13.56 MHz, ≥300 W; 13.56–2 MHz, ≥3 000 W) 구현 능력
• 극저온·고온 온도 제어(‑150 °C ~ +400 °C, 10 kW 이상 냉각 용량) 및 4/6/8 인치 웨이퍼 클램프 제공
• 가스 공급·배관 가열 키트(7 채널 이상, 저증기압 위험 가스 대응)
• 인터페로메트리 엔드포인트 검출 시스템(레이저 타입, 파장 ≥1, 스팟 사이즈 < 50 µm)
• 소프트웨어 자동화(프로그램 가능한 컨트롤러, PC/터치패널 기반)
• 품질·보증 관리(ISO 9001 등 인증 보유, 12 개월 보증·90 일 내 유지보수 가능)
• 국제 물류·인코텀즈 2020에 맞는 CIP(Cost, Insurance, Freight) 조건 및 주요 국제공항 도착 가능

3. 핵심 기술/물품 요구사항

(1) 본 시스템 주요 사양

| 구분 | 요구사항 |
|------|----------|
| 치수 | Footprint ≤ 1 902 mm × 1 000 mm, Height ≤ 2 187 mm, Weight ≤ 700 kg |
| RF 플라즈마 | 13.56 MHz ≥ 300 W (bias kit) |
| ICP 플라즈마 | 13.56 ~ 2 MHz ≥ 3 000 W (자동 매칭 unit) |
| 온도 제어 | Wafer chuck ‑150 °C ~ +400 °C (cryogenic, heater, chiller ≥ 10 kW) |
| 가스 공급 | ≥ 7 채널, 배관 가열 키트 포함, 저증기압 위험 가스 대응 |
| 프로세스 성능 | Etch rate > 2 µm/min (non‑Bosch), > 10 µm/min (Bosch) <br>Selectivity > 40:1 (non‑Bosch), > 100:1 (Bosch) <br>Sidewall roughness < 10 nm (non‑Bosch) <br>Profile 90 ± 1° <br>Uniformity < ±5% <br>Reproducibility < ±0.5% <br>Bosch scallop size < 350 nm |
| 엔드포인트 검출 | Interferometric system, laser ≥ 1 λ, spot < 50 µm |
| 제어·소프트웨어 | Programmable controller (자동·수동), PC 또는 터치패널 UI |
| 보조 펌프 | Process backing dry pump ≥ 1 800 L/min, Turbo molecular pump ≥ 1 300 L/s (N₂ purge) |
| 보조 펌프 (Loadlock) | Dry pump ≥ 200 L/min, 독립식 |
| 기타 | Maintenance kit, Consumable kit(O‑rings 등), System manuals, 1 set 이상의 유지보수·부품 제공 |

(2) 분류 코드 (참고)

• HSK No. 18486.20.84102321118001
• Korean Government Commodity Classification Code SYS1 (정부물품분류코드)

4. 주의사항

• 납품 기한: L/C 발행일로부터 300 일 이내에 CIP 조건으로 주요 국제공항 도착만 인정 (Incoterms 2020).
• 보증: 최종 인수일로부터 12 개월 또는 선적일로부터 90 일 중 빠른 시점 중 먼저 적용되는 기간.
• 결제 조건: 선적 시 90 %, 최종 인수 시 **10 %**를 L/C로 결제.
• 규격 준수: 위 치수·성능·구성 요구사항을 모두 충족해야 하며, 초과·부족 시 별도 설계·검증 필요.
• 소프트웨어·매뉴얼: 전체 시스템 운영을 위한 전용 소프트웨어와 시스템 매뉴얼을 반드시 포함 제공.
• 예비 부품·키트: Maintenance kit·Consumable kit은 1 set 이상을 별도 계약·공급해야 함.
• 품질·안전 인증: ISO 9001, CE, 혹은 국내 인증(예: K‑CQC) 등 품질·안전 인증 보유 시 가산점.
• 국제 물류: CIP 조건이므로 운송·보험 비용을 구매자 부담이며, 도착지 공항이 제한될 수 있음.

위 사항을 모두 충족하는 제안서(제안서·가격·납기·보증·결제 조건 포함)를 제출해 주시기 바랍니다.