울산과학기술원 3-5족 화합물 양자 소자 식각 장치 [III-V compounds quantum etcher]

1. 사업 개요

울산과학기술원(UT IST)은 3‑5족 화합물(인‑인듐(InP), 갈륨‑질화물(GaN), 갈륨‑비소(GaAs)) 기반 양자 소자(양자점·양자우·양자 인터페이스)의 정밀 건식 식각을 위한 전용 플라즈마 식각 장치를 구매하고자 합니다. 본 장비는 연구 단계와 향후 대량 생산까지 모두 활용할 수 있도록 높은 이방성·저손상·공정 제어 능력을 갖추어야 하며, 100 ~ 200 mm 웨이퍼를 처리할 수 있는 로드로크 시스템을 포함한 전체 공정 모듈을 제공하는 것이 목표입니다.

2. 주요 자격요건

• III‑V 화합물 양자 소자용 플라즈마 식각 장비 공급 실적이 있는 기업·업체
• 설치·시운전·현장 교육을 담당할 자격을 갖춘 엔지니어를 무상으로 파견할 수 있는 능력
• 보증 기간 최소 12개월(최종 Acceptance Certificate 발급 후) 제공
• CIP(Incoterms 2020) 조건으로 LC 발행 후 300일 이내 납품 가능
• 제공된 소프트웨어(GUI, 레시피, 플라즈마 스트라이크 어시스트 로그) 및 매뉴얼을 포함한 전체 시스템 제공 능력
• 100 ~ 200 mm 웨이퍼 로드로크 호환(트랜스퍼 암, 웨이퍼 센서, 격리밸브 포함) 가능

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• 공정 모듈:
  • 챔버 풋프린트 ≤ 979 mm × 388 mm, RF‑shielded viewport, EMO 버튼, 압축공기·냉각수·가스 라인 등 기본 유틸리티 라인 포함
• 로드로크 모듈: 100, 150, 200 mm 웨이퍼 호환, 격리밸브, 웨이퍼 센서, 웨이퍼 트랜스퍼 암
• 플라즈마 발생 시스템:
  • RF bias(0.1 ~ 10 % 제어, ≥ 300 W, 13.56 MHz)
  • RF ICP(≥ 3 kW, 2 MHz) 자동 매칭 유닛
• 기판 전극 키트: He‑클램프, 유체·전기 히터, 200 mm·150 mm·100 mm용 Quartz clamp, Carrier platen, 히터 최대 400 °C
• 가스 공급 시스템: 질량 흐름 제어기(최대 8라인), 위험 가스 라인 히팅, 위험 가스 바이패스
• 진공 측정 시스템: 챔버 게이지, 고진공 게이지
• 터보 분자 펌프: N₂ 기준 펌프 속도 ≥ 1,360 L/s, Adaptive pressure controller, 챔버·배관 가열 ≤ 60 °C, Foreline heating ≥ 80 °C
• 보조 장비:
  • 백킹 드라이 펌프(N₂ ≥ 110 m³/h, 60 Hz)
  • 로드로크 전용 러프 펌핑(≥ 14 m³/h)
  • 10 kW 급 냉동기(-20 ~ 90 °C)
  • 레이저형 인터페로미터(980 nm) 엔드 포인트 검출 시스템
• 소프트웨어: GUI 기반 제어 시스템, 레시피 관리, 플라즈마 스트라이크 어시스트 로그 포함
• 성능 사양(에칭 성능):
  • InP(≤ 150 mm): Etch rate > 300 nm/min, CH₄/H₂ 포함 > 50 nm/min, Hard‑mask selectivity > 10:1, Profile 90 ± 2°, Uniformity < ±5 % (wafer 내), < ±3 % (wafer‑to‑wafer)
  • GaAs(≤ 150 mm): Etch rate > 300 nm/min, Hard‑mask selectivity > 10:1, Profile 90 ± 2°, Uniformity 동일
  • GaN(≤ 150 mm): Etch rate > 250 nm/min, Hard‑mask selectivity > 5:1, Profile > 85°, Uniformity 동일

4. 주의사항

• 납품 일정: LC 발행 후 300일 이내, CIP(Incoterms 2020) 조건으로 운송·통관 비용 포함.
• 설치·시운전·현장 교육: 공급업체에서 무료로 제공할 엔지니어를 파견해야 하며, 교육 내용은 장비 운영 및 유지보수 전반을 포괄.
• 보증: 최종 Acceptance Certificate 발급 후 최소 12개월 보증(핵심 부품 교체·수리 포함).
• 유틸리티 연결: 전력, 가스, 냉각수, 진공 라인 등 장비 연결에 필요한 모든 설비 제공 의무.
• 문서·소프트웨어: 시스템 매뉴얼, GUI·레시피·플라즈마 스트라이크 로그 시스템 등 전부 제공 필요.
• 규격·분류: 한국 정부 물품 분류코드(18486.20.84102321118001) 및 HS‑코드(예: 3‑5족 화합물 양자 소자 식각 장치) 정확히 기재.
• 위험 가스: 가스 라인 히팅·바이패스 설계 등 안전·위험 관리 요구사항 충족 필수.
• 성능 검증: 제안서에 제시된 Etch rate, Selectivity, Profile, Uniformity 등 수치를 실험·인증 자료(예: 테스트 웨이퍼 결과)와 함께 제시해야 함.

위 항목을 모두 만족하는 제안서를 제출해야 하며, 특히 공정 제어 정확도, 저손상 특성, 로드로크 호환성 및 보증·교육 서비스에 대한 구체적인 실행 계획을 명확히 기술하는 것이 낙찰에 중요한 요소가 됩니다.