울산과학기술원 유도결합플라즈마 화학기상증착기 [Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition]

1. 사업 개요

울산과학기술원(울산과학기술원)에서 차세대 양자광자 디바이스·통합광학 회로·스핀 큐비트·양자 메모리 등 고성능 광학·양자소자 연구를 위해 200 mm(8‑inch) 웨이퍼용 유도결합플라즈마 화학기상증착기(ICP‑CVD) 를 신규 도입하고자 하는 사업이다. 저손실·저수소·저응력 실리콘산화물(SiO₂)·실리콘질화물(Si₃N₄) 박막을 20 °C ~ 400 °C 온도 범위 내에서 저온(≤150 °C) 및 고온(≤400 °C) 증착이 가능하도록 하는 장비 확보가 목적이며, 연구 협업 및 대형 면적 디바이스 제작을 지원한다.

2. 주요 자격요건

• ICP‑CVD 시스템 전체를 1세트씩 공급·설치할 수 있는 제조업체 또는 종합시스템 공급 업체
• HSK 18486.20‑400023990398(관세·정부 물품 분류) 해당 품목군에 대한 인증·등록 보유
• 위험가스( SiH₄, NF₃, SF₆ 등) 취급·공급에 관한 안전·법규 준수 인증(ISO 14001, KOSHA 등)
• 납품 후 12개월 보증 및 현장 설치·시운전·기본 사용자 교육을 포함한 커미션 제공 능력
• Incoterms 2020 CIP 조건 하에서 L/C 개설 후 300일 이내에 전체 시스템을 납품할 수 있는 물류·통관 역량
• 공정 레시피 생성·자동 제어·데이터 분석이 가능한 전용 소프트웨어 제공 및 교육 가능
• 수입·통관 및 통관·관세 신고 절차를 원활히 수행할 수 있는 지원 체계 보유

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양·요구사항 |
|------|-------------------|
| 주 챔버 | ICP‑CVD 메인 증착 챔버 1세트 |
| 플라즈마 소스 | ICP RF 전원 ≥3 kW + RF 바이어스 전원 ≥300 W, 자동 매칭 유닛 포함 |
| 로드락·웨이퍼 핸들링 | 200 mm 웨이퍼 적재·전송 시스템, 자동화 가능 |
| 가스 공급 | 최소 8개의 가스 라인(위험가스 포함), 최대 흐름 ≥200 sccm, SiH₄, N₂, O₂, Ar, SF₆ 등 호환 |
| 진공 펌프 | 고진공 터보 펌프 + 가열 기능 탑재 드라이 펌프 1세트 |
| 기판 전극·온도 제어 | 20 °C ~ 400 °C (냉·가열 모드 전환), 고정밀 온도 조절 |
| 제어·소프트웨어 | PC + 모니터, 공정 레시피 작성·자동 제어·데이터 분석 전용 소프트웨어 |
| 부속품 | 케이블·설치 부품·매뉴얼·패키징·크레이팅 포함 |
| 공정 성능 | • 웨이퍼 용량: 200 mm<br>• 증착 온도: 20 °C ~ 400 °C<br>• 증착 재료: SiO₂, Si₃N₄<br>• 증착 속도: SiO₂ ≥25 nm/min, Si₃N₄ ≥8 nm/min<br>• 두께 균일성: ≤±3 % (8‑inch wafer)<br>• 런‑투‑런 재현성: ≤±3 %<br>• 굴절률: SiO₂ 1.44‑1.50, Si₃N₄ 1.95‑2.05<br>• 응력: ≤±150 MPa<br>• 수소 함량: ≤5 % (≤150 °C, SIMS 분석)<br>• 습식 식각 속도: Si₃N₄ ≤30 nm/min (BHF 10:1, 20 °C) |
| 기타 | 매뉴얼(USB), 포장·크레이팅, 시운전·공정 보증 포함 |

4. 주의사항

• 납품 기간: L/C 개설 후 300일 이내에 전체 시스템을 CIP 조건으로 운송·통관해야 함.
• 보증·커미션: 납품일로부터 12개월 보증 제공, 현장 설치·시운전·기본 사용자 교육 반드시 포함.
• 결제 조건: **90 %**는 선적 시, **10 %**는 L/C 수령·인수 후 지급.
• 위험가스 취급: 공급·배관·누설 방지 설계, 관련 안전 인증(ISO 14001, KOSHA 등) 필요.
• 소프트웨어: 레시피 자동화·데이터 분석 기능을 포함한 전용 소프트웨어가 반드시 제공돼야 함.
• 통관·관세: 수입 관세·통관 절차를 사전에 확인하고, 필요 시 관세분류(HSK 18486.20‑400023990398) 및 정부 물품 분류코드에 맞는 서류 준비.
• 부품·부속: 케이블·설치 부품·매뉴얼·패키징·크레이팅 등 부속품이 모두 포함돼야 하며, 별도 누락 시 계약 위반 위험.
• 시운전·보증: 시운전 후 최소 1개월 이상 정상 가동 확인 및 보증 기간 동안 주요 부품(플라즈마 소스, 진공 펌프 등)의 교체·수리 정책 확인 필요.
• 품질·성능 검증: 제시된 두께 균일성, 증착 속도, 수소 함량 등 핵심 성능 지표를 실제 현장 테스트(예: SIMS, ellipsometry)로 검증 가능한지 확인.

위 사항을 모두 충족하는 업체를 선정하면 본 입찰을 성공적으로 수행할 수 있다.