플라즈마 애싱 시스템 구매

1. 사업 개요

한국해양대학교 산학협력단이 연구·교육용으로 플라즈마 애싱(Plasma Ashing) 시스템을 구매한다. 4‑inch 웨이퍼를 대상으로 유기물 및 포토레지스트(PR)를 플라즈마 이온화 반응으로 제거하는 전용 장비 전체(챔버, 전원, 진공, 가스 공급, 제어, 프레임)와 관련 소프트웨어·설치·보증·교육까지 포함한 일괄 조달이다.

2. 주요 자격요건

• 신품 전용 : 모든 부품은 반드시 신품(신제품)만 사용 가능하며 중고품 사용 금지.
• 안전 인터락 : 공압 구동 밸브, 가스·냉각수 공급 라인에 인터락(Safety interlock) 기능이 반드시 포함되어야 함.
• PC 기반 제어 : 수동·자동 조작이 가능한 PC‑제어 시스템 제공, GUI 소프트웨어 UPRO(무기한 라이선스) 포함, 레시피 편집·저장·다운로드·공정 데이터 로깅 기능 필수.
• 성능 검증·데모 : 공급자는 자체 클린룸에서 공정 시연 및 성능 검사를 수행하고, 검증 결과(Factory Test Sheet)와 시험 데이터를 납품 전 제공해야 함.
• 교육 제공 : 장비 작동·유지보수에 대한 교육(운영 매뉴얼·실습 포함) 제공 의무.
• 보증 기간 : 납품·검수 완료 시점으로부터 1년 무상 보증.
• 유틸리티 비용 부담 : 가스·냉각수·스크러버·안전 유틸리티 등 설치 전 준비 비용은 공급자가 자체 부담.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 사양 |
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| 공정 챔버 모듈 | • 재질: 전해 연마 처리된 SUS<br>• 상단 개폐: 파워 실린더 방식<br>• 뷰포트: 차폐망 포함<br>• 샤워헤드: 알루미늄 소재, RF 아이솔레이터 포함 |
| 기판 척 | • 최대 웨이퍼: 4‑inch<br>• 공정당 1장<br>• 히터: 최대 300 °C |
| 전원 공급 모듈 | • RF 발생기: 50 Ω에서 ≥600 W<br>• 자동 RF 매칭 네트워크<br>• RF 케이블 키트 |
| 진공 모듈 | • 로터리 펌프: ≥600 L/min<br>• 도달 압력: ≤5 × 10⁻³ Torr<br>• 저진공 게이지: Convectron gauge + ATM sensor + 압력 게이지 키트 |
| 가스 공급 모듈 | • 공정 가스: Ar MFC 1개, O₂ MFC 1개 (각 1개 이상)<br>• Purge & Vent: N₂ 미터링 밸브<br>• MFC 컨트롤러 포함 |
| 제어 모듈 | • 시스템 제어: PC 기반, 아날로그·디지털 I/O 카드, 인터락 기능<br>• GUI 소프트웨어: UPRO(무기한 라이선스) – 레시피 편집·저장·다운로드·데이터 로깅<br>• 전기 제어 패널: 전원 온/오프, 비상 스위치(EMO), RF·진공·MFC 제어 판넬 |
| 프레임 모듈 | • 캐스터·레벨링 풋 부착, 전원 패널 부착 가능 |
| 성능 사양 | • 식각 균일성: ≤±5 % (4‑inch wafer)<br>• PR Ashing Rate: >100~500 Å/min<br>• 두께 균일도: ≤±5 % (≤2,000 Å, edge 5 mm 제외)<br>• 챔버 진공도: ≤5E‑3 Torr |
| 기타 | • 공급자는 제조자 클린룸에서 성능 검사·시연을 수행하고, 검수 전 AFM·SEM·EDX 등으로 최종 검증 진행.<br>• 납품 전 반드시 Factory Test Sheet 및 검증 데이터 제출. |

4. 주의사항

• 신품 전용: 부품 스펙서와 제조 일자를 확인해 중고품 사용을 방지해야 함.
• 인터락 설계: 공압 구동 밸브와 가스·냉각수 라인에 인터락이 구현돼 있는지 설계도·시방서 제공 요구 가능.
• 소프트웨어 라이선스: UPRO GUI 소프트웨어가 무기한 라이선스인지, 추가 비용이 발생하는지 명확히 확인.
• 납품 일정: 계약일로부터 2개월 이내 납품이 필수이며, 지연 시 계약 위반 및 페널티 발생 가능.
• 설치·검수 책임: 설치·조정은 공급자가 수행하고, 클린룸 시연·성능 검사 결과를 검수 전 제출해야 함. 검수 시 AFM·SEM·EDX 등 분석 장비를 통한 최종 확인 필요.
• 보증 범위: 1년 보증은 납품·검수 완료 시점부터 시작되며, 보증 내용(수리·교체·현장 지원 등)을 계약서에 명시해야 함.
• 교육 요구: 운영·유지보수 교육 일정·내용을 입찰서에 포함하고, 교육 후 수료증·매뉴얼 제공을 확인.
• 유틸리티 비용: 가스·냉각수·스크러버·안전 유틸리티 등 사전 준비 비용은 공급자가 부담한다는 점을 입찰 가격에 반영.
• 법규·자격: 한국조달법 및 한국해양대학교 내부 조달 규정에 따른 입찰 자격·서류 요건을 반드시 충족해야 함.

연락처 : 전영태 부교수 (☎ 051‑410‑4789)

※ 분류번호 23211195, 품명 플라즈마 애싱 시스템(Plasma Asher System) – 4 inch SET 1.

위 요약을 바탕으로 입찰 제안서 작성 시 반드시 신품·인터락·성능 검증 요건을 명확히 입증하고, 납품 일정·보증·교육·소프트웨어 라이선스 등을 계약서에 구체화하는 것이 성공적인 입찰의 핵심이 됩니다.