불산 기상 식각 장비 [HF Vaporizer Etcher]

1. 사업 개요

서울대학교 산학협력단(실수요기관: 반도체공동연구소)에서 불산 (HF) 기상 식각 장비 (HF Vaporizer Etcher) 1대를 구매하기 위해 일반경쟁 입찰을 실시합니다. 배정 예산은 **USD 270,668(≈ KRW 3억 원)**이며, 주장비는 외산 또는 국내산 여부를 불문하고 Incoterms 2010 FCA 조건, 도착항은 인천공항, 납품장소는 관악구 서울대학교 반도체공동연구소 104동 2층 패킹룸 3입니다. 입찰 마감은 2026‑01‑07 10:00 KST이며, 개찰은 동일일 11:00 에 전자입찰 시스템을 통해 진행됩니다.

2. 주요 자격요건

• 전자입찰 등록: 국가종합전자조달시스템(KONEPS) ‘외자·국내·국외’ 입찰참가자격 등록자이며, 입찰 마감 전까지 시스템에 등록사항이 게재돼 있어야 함.
• 외산·국내산 구분:
  • 외산 → 원산지 통화 또는 USD 로 견적 가능.
  • 국내산 → KRW 로 견적하고, 조달청 입찰참가자격등록증에 ‘제조’ 등록·직접생산 서류·원산지증명서 등 국내 생산 증빙 서류 제출 필수.
• 공급자 증명서: 입찰서와 함께 Supplier’s Certificate (외산·국내산 구분 시) 제출. 입찰자와 공급자가 동일인 경우 생략 가능.
• 청렴계약(청렴서약) 승낙: 국가·지방 계약법 제5조의2·제6조의2에 따른 청렴서약서 제출(또는 전자입찰서에 포함) 의무.
• 법적 결격 사유 없음: 국가·지방 계약법 제27조의5에 따라 ‘조세포탈 등 유죄 판결이 확정된 날부터 2년 이내’ 인 경우 입찰 불가. 서약서 허위 시 계약 해제·부정당업자 제재 가능.
• 지문인식·전자입찰: 입찰자는 대표자·입찰대리인이 지문 정보를 사전 등록하거나, 예외 절차에 따라 전자인증서(공인인증서)로 전자입찰을 진행해야 함.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• 시스템 구성

  • 메인 Body : HF 가스 캐비닛 및 통합 Etch 모듈(온보드 HF 공급)
  • Process Chamber : Ni‑plated Aluminum 챔버, ±0.5 °C 온도 제어, 4 개의 가열 존, 소형 진공 챔버(≤ 200 mm 웨이퍼 지원)
  • Vacuum System : 50‑150 torr 압력 범위, 펄스 밸브 압력 제어, 1000 torr 바아톤, 누설·퍼지 검사
  • Tool Controller & Display : PLC 터치스크린, 레시피 에디터, 알람·인터록, 비밀번호‑잠금 기능
  • Gas Panel : HF · EtOH · N₂ 연속 제어, 무수 HF 증기 전달, 저‑데드‑볼륨 화학밸브, 가열 Vaporizer
  • Safety & Interlock : Emergency Off 버튼, 압력 인터록, Remote Enable/Disable, 경보·알람 인터록
  • Pumping System : Dry 펌프 (신품) > 58.85 CFM, 궁극 압력 1.5 × 10⁻² Torr
  • HF Leak Detection Package : HF·Alcohol 감지 시 자동 정지·경보·안전 상태 전환

• 성능·시험

  • Thermal SiO₂ 식각 속도 100‑1600 Å/min, Uniformity < 5 % (WIW), < 7 % (W2W)
  • Acceptance 품목: System Base Cabinet, Heated 316L SS Delivery Line, Evacuation Valve, Cylinder Pressure Gauge, Delivery Pressure Gauge, Adjustable‑Height Cylinder Platform, SS Pigtail (CGA660), Drip‑Tray Liquid Detector, Liquid‑Level Sensor, Dry Pump, HF Leak Detector, Process TEST 키트 등.

• 보증·유지보수

  • 1 년 무상 보증(설치·검수 후), 보증기간 내 결함 발생 시 무보수 수리·교체 제공, 보증 기간 초과 후 문제 해결 시까지 지원.
  • 유지보수·트러블슈팅 매뉴얼, 운영·PC 백업, PLC 프로그램 백업 등 서류 제출 필수.

• 인도·설치

  • FCA 조건, 2026‑09‑30 까지 선적, 인천공항 도착 후 수요기관 패킹룸 3 에 직접 납품.
  • 설치·설정 4 주 이내 완료, 원격 지원·교육 제공.

• 결제조건

  • PO 발행 시 30 % N30 (T/T) → 선적 시 30 % + 60 % → 검수·설치 완료 시 10 % 또는 선적 후 60 일 중 먼저 도래 시점에 지급.

4. 주의사항

• 입찰서류 제출
  • 모든 부속서류(상세규격서, 카탈로그, 세부견적서 등)는 입찰 마감 전까지 KONEPS ‘투찰관리 → 입찰서 부속서류’ 메뉴에 첨부해야 함. 누락 시 입찰 무효.
• 통화·원산지 규정
  • 외산 주장비는 USD 또는 원산지 통화로 견적, 국내산은 KRW 견적 및 국내 생산 증빙 제출 필수. 위반 시 무효.
• 위험물·특수화물
  • IATA 위험물 분류가 포함될 경우 견적서에 등급·내용 명시, Shipper’s Declaration for Dangerous Goods 제출 의무.
  • 해상·항공 특수화물(컨테이너 적재 불가 등)도 상세 표기 필요.
• 환율·예산
  • 계약은 고정 KRW 예산 범위 내에서 체결, 입찰자는 환율 변동을 고려해 KRW 환산 가격을 제시해야 함.
• 청렴·부정행위
  • 청렴서약 위반 시 입찰·낙찰 취소·계약 해제·부정당업자 제재(최대 입찰보증금 5 %·계약보증금 10 % 지급) 발생.
• 법적·행정적 제재
  • 조세포탈·부정행위·부정당업자 제재를 받은 자는 2 년 이내 입찰 불가, 허위 서약 시 계약 해제·제재.
• 입찰 무효 사유
  • 4.2 통화·원산지 위반, 6.1.2 상세규격서 미제출, 대표자 중복 입찰, 입찰서 부속서류 미제출 등 다수 무효 사유 존재.
• 평가·결정
  • 기술 사양은 수요기관 (반도체공동연구소) 단독 평가, 가격 비교는 외산 입찰자는 외자입찰유의서 제21조에 따라 KRW 환산 후 비교.
• 기타
  • 입찰 마감 24 시간 전 전산 장애 시 조달청 콜센터(1588‑0800)로 문의, 미 문의 시 책임 전가.
  • 개찰 결과 KONEPS 시스템에 공개, 수하주 ‘서울대학교 산학협력단(SNU R&DB FOUNDATION)’ 명시 필요.
  • Incoterms 2010 FCA 조건 적용, 해상·항공 위험물 표시 및 원산지증명서 제출 의무(FTA 적용 물품 포함).

위 요약은 입찰공고문, 구매규격서, 입찰요약서를 기반으로 핵심 내용만을 정리한 것이며, 실제 입찰 참여 시 반드시 전체 문서를 상세히 검토하시기 바랍니다.