불산 기상 식각 장비 [HF Vaporizer Etcher]

1. 사업 개요

• 목적: 서울대학교 산학협력단은 반도체공동연구소에서 사용할 HF Vaporizer Etcher(불산 기상 식각 장비) System 1을 신규 도입해, 물‑불산 혼합 식각 공정에서 스티션·부식 없이 깨끗한 표면을 제공하고, Si·Al·SiGe·Al₂O₃·TiW·SiN 등 다양한 재료를 선택적으로 식각할 수 있는 정밀 가스 제어·저수분·저부식 시스템을 확보한다.
• 범위: 메인 바디(통합 식각 모듈·HF 가스 캐비닛), 프로세스 챔버, 진공·펌프 시스템, 툴 컨트롤러·디스플레이, 가스 패널, 안전·인터록, HF 누출 검출 패키지 및 부속품(챔버 뚜껑·디퓨저·히터·밸브·전자베이·베이스 캐비닛 등) 일체를 포함한 전체 시스템·설치·운전 교육까지 포함한다.
• 배정금액: USD 270,668(≈ KRW 350~380억) 내에서 계약 체결 가능.
• 입찰 방식: 일반경쟁, 규격 적합자 중 최저가 원칙, 전자입찰(KONEPS) 마감 2026‑01‑23 10:00 KST, 개찰 2026‑01‑23 11:00 KST.

2. 주요 자격요건

• 입찰참가자격
  • 국가종합전자조달시스템(G2B) 외자분야·물품분야·국외소재업체 중 하나에 등록된 업체.
  • 개찰 전일(휴일인 경우 직전 근무일)까지 G2B에 등록정보가 게재되어야 함.
• 전자입찰 준비
  • 전자입찰 이용자 등록 및 지문인식 신원확인 입찰(개인인증서·지문 사전 등록) 완료.
• 청렴서약
  • 국가계약법 제5조의2·지방계약법 제6조의2에 따라 청렴서약서 제출(시스템 제출 시 포함). 부정청탁·담합·뇌물 제공 시 부정당업자 제재·입찰제한.
• 공급자증명서
  • 입찰 시 원본 공급자증명서 제출(동일 업체·공급자는 생략 가능).
• 기술·세부 견적 서류
  • 상세 규격서, 세부 견적서, 카탈로그 등 온라인 제출 마감 전까지 모두 첨부.
• 위험물·FTA 서류
  • 위험물 포함 시 IATA 위험물 등급(Class 1‑9) 표기 및 Shipper’s Declaration for Dangerous Goods 제출.
  • FTA 원산지 물품이면 원산지증명서 포함·제출, 미제출 시 관세·부가세 발생 시 계약상대자 부담.
• 가격·예산
  • 배정금액 USD 270,668이며, 계약금액은 원화 예산 범위 내 고정 환율 적용. 외화 입찰자는 외자입찰유의서 제21조에 따라 원화로 환산해 평가.
• 법적·규제 제한
  • 2 년 이내 조세포탈·부정당업자 유죄 판결자는 입찰 불가(2.4.1 서약서 제출).
• 입찰 무효 방지
  • 4.2(통화) 조건 위반, 상세규격서 누락, 공급자증명서 미제출, 서류 지연 제출 등은 무효 사유. 동일 대표자 겸임 시 복수 입찰 시 모두 무효.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

시스템 구성

• 메인 바디
  • 통합 식각 모듈·HF 가스 캐비닛, 저수분·저부식 공정, 원격 Enable/Disable 인터페이스, 풋프린트 < 0.5 m².
• 프로세스 챔버
  • Ni‑plated 알루미늄, 45 °C ± 0.5 °C 온도 제어, 200 mm 이하 웨이퍼(100‑200 mm) 무변경 처리, 수동 웨이퍼 삽입, 교차 흐름 가스 공급.
• 진공 시스템
  • 프로세스 압력 50‑150 torr, 폐루프 펄스 밸브 제어, 1 000 torr 바아톤, 사전·사후 누설 검사, 포어라인 압력 게이지.
• 툴 컨트롤러·디스플레이
  • PLC 터치 스크린, 레시피 편집기, 알람 화면, 비밀번호 레시피 잠금.
• 가스 패널
  • 연속 가스 흐름 제어, 펄스 ALD 밸브(무수 HF, N₂, 저수분 에탄올), 온도 제어형 에탄올 베포라이저, 1 000 torr 바아톤.
• 안전·인터록
  • 비상 OFF 버튼, 압력 인터록, 원격 Enable/Disable, 알람 인터록.
• 펌핑 시스템
  • 건조 펌프(신품), > 58.85 CFM, 최종 압력 1.5 × 10⁻² Torr.
• HF 누출 검출 패키지
  • HF·에탄올 가스 검출 유닛, 검출 시 자동 정지·경보·안전 전환.

세부 부속품

• 챔버 뚜껑, 디퓨저 플레이트, 저항 히터, 웨이퍼 슬라이드 마운트 어셈블리, EtOH·HF·N₂ ALD 밸브, 알코올 베포라이저, 과온 스위치.
• 전자베이: 회로 차단기(CP1‑CP7), 솔리드 스테이트 릴레이(SSR1‑SSR2), DC 전원 공급기, DC 터미널 블록, 인터록 릴레이.
• 베이스 캐비닛: 316L SS 가열 라인, 배출 밸브, 실린더 압력계, 전달 압력계, 조절 가능한 실린더 플랫폼·CGA660 커넥터, 드립 트레이·액체 레벨 센서, HF 누출 검출 패키지 등.

성능 사양

• Thermal SiO₂ 식각률: 100‑1 600 Å/min.
• Etch uniformity: WIW < 5 %, W2W < 5 % (≤ 7 % @ 100‑400 Å/min).
• 공정 특징: 저수분·저부식, 스티션·코로전 방지, 선택적 재료 식각 가능.

인도·포장·위험물

• Incoterms 2010: FCA (매도인 공장/창고에서 인도).
• 도착항: 인천공항.
• 최종 납품장소: SNU 반도체공동연구소, 104동 2층 패킹룸 3.
• 중량·용적: 각 품목별 총 중량·용적을 상세 견적서에 명시.
• 위험물: IATA Class 1‑9 포함 시 등급·수량 표기 및 Shipper’s Declaration for Dangerous Goods 제출.
• 목재 포장: IPPC 규정 준수.
• FTA 원산지: 원산지증명서 포함·제출, 미제출 시 관세·부가세 발생 시 계약상대자 부담.

4. 주의사항

• 입찰 마감: 전자입찰 2026‑01‑23 10:00 KST, 개찰 2026‑01‑23 11:00 KST.
• 무효 사유: 4.2(통화) 위반, 상세규격서 누락, 공급자증명서 미제출, 서류 지연 제출, 동일 대표자 겸임 시 복수 입찰 등.
• 예산·가격: 배정금액 USD 270,668, 계약금액은 원화 예산 범위 내 고정 환율 적용; 외화 입찰자는 원화 환산 후 평가.
• 지불 조건:
  • 30 % T/T (선적 전 PO 발행 시)
  • 60 % T/T (선적 시)
  • 10 % T/T (인수·또는 선적 후 60 일 중 먼저 도래하는 시점)
  • L/C 수령 후 0 % 지급.
• 보증·하자보수: 1 년 보증(설치·검수 완료일 기준), 하자담보보증금 없음; 보증기간 동안 무상 서비스 제공.
• 지체상금·위약금: 계약 지연 시 지체상금이 계약보증금액(10 % 계약액) 초과하면 계약 해제·해지 가능; 최대 10 % 초과 위약금은 별도 부과.
• 청렴서약: 부정청탁·담합·뇌물 제공 시 부정당업자 제재·입찰제한; 서약 위반 시 계약 해제·해지.
• 위험물·FTA 서류: 위험물 포함 시 Shipper’s Declaration 제출, FTA 원산지 물품이면 원산지증명서 포함·제출; 미제출 시 관세·부가세 발생 시 계약상대자 부담.
• 환율·통관 리스크: 입찰자는 환율 변동에 따른 원가 변동을 스스로 관리해야 함; 계약서에 원화 기준 고정 예산 적용.
• 설치·훈련: 납품 후 4 주 이내 설비 설치·테스트 완료, 설치·운전 교육 제공, 원격 지원 가능. 구매자는 HF·에탄올·테스트 TOX 웨이퍼·핫플레이트·산화물 두께 측정 장비 등 운영·유지보수 항목을 제공.
• 기타:
  • 모든 부속서류(규격서·세부 견적·위험물·원산지 등)는 마감 전까지 전자시스템에 업로드.
  • 전자입찰 장애 발생 시 **24 시간 전까지 조달청 콜센터(1588‑0800)**에 문의.
  • 개찰 결과는 G2B 시스템에 공개.
  • 수하주(수취인)는 반드시 ‘서울대학교 산학협력단(SNU R&DB FOUNDATION)’ 명시.
  • Incoterms 2010 FCA 적용, 포장·위험물·FTA 서류 누락 시 입찰 무효 위험.

위 요약은 입찰공고문, 입찰요약서, 구매규격서를 종합하여 핵심 내용만을 정리한 것이며, 실제 입찰 참여 전 반드시 전체 공고와 부속 문서를 확인하시고, 규정 위반 시 부정당업자 제재·입찰제한 등 불이익이 발생할 수 있음을 유의하시기 바랍니다.