[RISE사업] 고감도 LiDAR 센서 웨이퍼 제작 용역

1. 사업 개요

• RISE사업의 일환으로 고감도 LiDAR 센서에 필요한 웨이퍼 제작·공급을 수행하는 용역으로, 연세대 미래캠퍼스의 차세대 자율주행·스마트시티 연구·시험에 바로 적용 가능한 고성능 광학 센서를 위한 핵심 부품을 생산한다.
• 계약 범위는 웨이퍼 설계·제조·품질 검증·포장·납품까지이며, 최종 제품은 고감도 감지거리 ≥ 200 m, SNR ≥ 30 dB 수준을 만족해야 한다.

2. 주요 자격요건

• 반도체·웨이퍼 제조 경험 5 년 이상이며, 고감도 LiDAR용 웨이퍼 생산 실적을 보유한 업체.
• 6 인치·8 인치 실리콘 또는 III‑V 화합물 웨이퍼를 클린룸(FAB)에서 제조할 수 있는 설비와 ISO 9001·ISO 14001 인증 보유.
• 광학 리소그래피·플라즈마 처리·센서 어레이 형성 등 최신 공정 기술을 적용할 수 있는 기술·인력 보유.
• 품질관리(QC)·시험 장비(광학 투과율·반사율 측정기, 표면 거칠기 분석기 등)와 전기·광학 테스트 역량을 갖춘 조직.
• 하도급 시 하도급거래 공정화에 관한 법률을 준수하고, 사전 승인 절차 및 하도급대금 적정 지급 관리 가능.
• 전자조달 시스템(조달청 전자입찰·e‑procurement) 이용 가능 및 전자서명·문서 제출 역량 보유.

3. 핵심 기술·물품 요구사항

• 웨이퍼 사양
  • 6 인치 또는 8 인치 Si/III‑V, 두께 200–300 µm, 평탄도 ≤ 0.5 µm, 표면 거칠기 Ra ≤ 0.2 nm.
  • 공정 정밀도 ≤ 0.1 µm, 193 nm 이하 광학 리소그래피 가능.
• LiDAR 고감도 요구
  • 반사율 ≥ 90 %, 검출거리 ≥ 200 m, SNR ≥ 30 dB, 온도·습도 변동 0–50 °C, 0–95 % RH 내 성능 유지.
  • 센서 어레이 정렬 오차 ≤ 5 µm, 결함 밀도 ≤ 1 cm⁻².
• 공정·테스트 항목
  • 전기 저항·전류‑전압 특성, 광학 투과·반사율, 레이저 가공 후 표면 손상 여부.
  • 패키징 전 정전기 방지·충격 흡수 포장, 온도 20–25 °C·습도 30–40 % RH 유지.
• 보증·품질
  • 1 년 무상 하자 보증(2 % 계약보증금 비율 적용), 결함 발생 시 교체·수리 의무.
  • 품질 검증 보고서, 시험 데이터, 공정 기록 등 산출내역서 제출 의무.

4. 주의사항

• 계약문서 구성: 계약서·특수조건·과업내용서·산출내역서·산출서 등으로 이루어지며, 변경 시 별지 1·2 양식(과업내용변경요청서·관리내역서) 사용.
• 계약보증금: 10 % 이상(현금·보증서) 필수. 금액 증액 시 추가 납부, 감액 시 반환.
• 대가 지급: 검사 완료 후 5 일(공휴일 제외) 이내 지급, 지연 시 은행 평균 대출 금리 적용 지연이자 부과.
• 기성·완료 대가: 30 일마다 기성 부분 검사·승인 후 지급, 하수급인·하도급대금 지급 확인 의무(15 일 이내 하수급인에게 현금 지급).
• 과업 변경: 추가·삭제·조정 시 실비 초과 금지 원칙 적용, 변경 제안은 14 일 이내 승인 여부 통보.
• 지식재산권: 발주기관(연세대)과 계약상대자 공동 소유, 별도 협의 시 지분율 조정 가능. 특허·실용신안 등은 계약당사자 협의 후 귀속(제 35조·제 35조의 3).
• 하도급 관리: 하도급 시 하도급거래 공정화에 관한 법률 준수, 사전 승인 절차 및 하도급대금 적정 지급 확인 필수.
• 검사·인수: 완성 후 14 일 이내 검사 요청, 검사 지연 시 지체상금 부과(0.05 %/일, 최대 30 % 계약금액). 불가항력·발주기관 책임·계약특수 사유 등은 제외.
• 지체상금: 기본 0.05 %/일(최대 30 % 계약금액), 위반 시 지체상금 현금 납부 의무.
• 보증이행: 계약상대자 이행불능 시 보증기관에게 이행 청구 가능, 보증기관은 현금 납부 또는 보증이행업체 지정.
• 비밀·청렴: 부정·뇌물·청탁 금지, 정보 누설 금지 위반 시 부정당업자 지정·입찰참가 제한.
• 전자조달·시스템: 전자조달시스템(조달청 e‑procurement) 이용 및 전자서명·문서 제출 필수.
• 계약 해지·해제 사유: 정당한 사유 없이 착수 지연, 계약 목적 달성 불가, 지체상금 30 % 초과, 부정 행위 등(제 29조).
• 기술자료 임치: 계약목적물(기술자료)은 제3자 임치기관에 임치 필요, 임치기관 선정·비용 부담(제 57조).
• 노무·임금 관리: 노무비 구분 관리·지급 확인, 하도급대금·근로자 임금 적정 지급, 15 일 이내 하수급인에게 현금 지급 의무(제 27조의 2·제 27조의 4).

※ 위 내용은 **용역계약일반조건(기획재정부 계약예규 제798호)**을 기본 골격으로 하며, 실제 과업내용서·특수조건에 명시된 세부 사양·절차가 우선 적용됩니다. 입찰 전 반드시 첨부 문서를 전부 검토하고, 요구 사양·품질·가격·일정 등을 계약문서와 일치하도록 준비하시기 바랍니다.