세부품명번호9923151502세부품명융복합코팅머신물품규격○ 시스템 사양
- 전기 : 단상 220V 5KW, 60Hz, 제 3종접지
- 시스템 전체 사이즈 : 1170(W)*870(D)*1450(H)(mm)(냉각 콜드트랩 포함)
○ 증착 챔버(Evaporation Chamber)
- 재질 : 스테인리스 스틸(SUS316)
- 챔버 사이즈 (내경 기준) : 300Ф X 300H (mm)
- 코팅 유효 면적 : 200Ф X 200H (mm)
- 챔버 도어 개폐방식: 코팅 챔버 위 두껑 수동 개폐방식
○ 진공 제어(Vacuum Control)
- 진공 펌프 : 직결식 로터리 펌프(Rotary Pump)
- 메인 밸브 : 전기식 자동 밸브(Open/Close Electrical Valve)
- 진공해제 밸브 : 전기식 개폐 밸브(Open/Close Electrical Valve)
- 진공 컨트롤러 : 피라니센서 및 컨트롤러(Pirani Gauge & Controller)
- 냉각기 : 극저온칠러(-85℃이하)
○ 지그 제어
- 지그 회전 속도 : 2~4 RPM 고정
- 지그 : 5단 멀티 지그(알루미늄)/ 지그판(170mm*140mm)
○ 원료 증발 제어
- 증발 챔버(Vaporize Chamber) 재질 : 스테인리스
- 증발 챔버(Vaporize Chamber) 원료 장입량 : Max 100g
- 증발 반응기 히터 : Max 200℃
○ 원료 분해 제어
- 열분해 튜브(Pyrolysis Tube) 재질 : 스테인리스
- 열분해 반응기 히터 : Max 730℃
○ 시스템 운전 제어
- 터치패널 및 PLC를 이용한 자동운전 및 수동운전 제어
- 전기 : 단상 220V 20A 차단기 및 전지포함된 분전반
- 5Pattern: 설정 진공도에 따른 증발기 ON/OFF 제어 기능(Parylene C/N/F/HT/Pre-Coating 레서피 제공)
- 1Pattern: 증발 제어 온도 시간 설정에 의한 프로그램 제어 기능(승온/유지 4STEP기능)
- 열분해온도,증발온도,진공센서온도,콜드트랩온도,진공도 등의 공정 DATA 저장(CSV파일) , 공정이력 및 고장 이력 관리
○ 증발기 냉각 시스템
- 코팅 작업 종료시 FAN을 이용한 증발기 강제 냉각물품수량1 대물품단가62,700,000원물품분류 제한여부아니오제조여부아니오배정예산금액62,700,000원 