[산단]마스크얼라이너 및 노광시스템 구매

1. 사업 개요

영남대학교 산학협력단은 반도체·마이크로‑공정 연구·교육을 지원하기 위해 마스크 얼라이너와 노광 시스템을 구매하고자 합니다.
구매 목적은 마스크 정렬 정확도와 노광 공정 생산성을 향상시켜 실험실·연구 장비 활용도를 높이는 것이며, 규격서(동급 이상) 기준으로 성능이 검증된 시스템을 요구합니다.

2. 주요 자격요건

• 국가계약법 시행령 제12조·시행규칙 제14조에 따른 자격을 갖춘 사업자
• 입찰공고일 기준 2년 이내 계약불이행·지체로 부과금을 납부한 이력이 없는 사업자
• 현재 청산·합병·매각·법정정리·화의·법정관리 등 정리절차 중인 사업자 금지
• 부정당업자(국가계약법 시행령 제76조) 및 부정당사업자 제외
• 직접입찰(대리인 가능)만 허용, 공동이행·분담이행 방식은 불허
• 사업자등록증(법인등기부등본 3개월 이내)·법인인감증명서·사용인감계 등 필수 서류 구비
• 입찰보증금 10 % 이상을 입찰이행보증보험증권으로 제출 (보증기간: 입찰서 제출 마감일 이전 초일 → 마감일 다음 30일 이후 만료일)
• VAT 포함 총액 입찰(가격입찰서 밀봉·VAT 포함) – 면세사업자도 VAT를 포함해 투찰해야 함
• 규격서 작성 시 실제 제품 사양과 일치하도록 제안, 카탈로그·기술문서 등 첨부 필요

3. 핵심 기술/물품 요구사항

| 구분 | 주요 요구사항(예시) |
|------|-------------------|
| 마스크 얼라이너 | • 최소 정렬 정확도 0.5 µm 이하 (또는 0.2 µm) <br>• 웨이퍼 크기 300 mm 지원 <br>• 진공 스테이지·자동 마스크 교체 <br>• 5 wafer/h 이상 고속 동작 <br>• 정밀 스테이지 제어·소프트웨어 연동 |
| 노광 시스템 | • 450 nm(DUV)·193 nm(EUV) 파장 지원 <br>• 최소 해상도 0.1 µm 이하 <br>• 마스크 얼라이너와의 데이터·제어 연동 가능 <br>• 광학 정밀도·초점 자동 보정 <br>• 1 년 이상 기술지원·정품 부품 공급 확약서 제출 |
| 공통 | • 규격서(동급 이상) 기준 충족 <br>• 제조사 기술지원 확약서·정품 공급 확약서 제출 <br>• 시스템 전력·온도·습도 등 환경 사양 명시 <br>• CE/UL 등 안전·품질 인증 보유 |
| 가격 | • 총액 입찰, 부가세 포함 64,900,000 원 이하 <br>• 가격입찰서 밀봉·VAT 포함, 면세사업자일 경우 낙찰 시 VAT 차감 가능 |

※ 02‑(게시용)_물품구매 규격서.pdf 내용이 손상돼 실제 상세 사양은 읽을 수 없습니다. 정확한 사양은 첨부된 규격서를 확인하거나 영남대학교 구매팀·산학연구관리팀에 문의해 주세요.

4. 주의사항

• 입찰등록 마감: 2026‑02‑19(목) 14:30까지, 장소: 영남대학교 경산캠퍼스 대학본관 1층 구매팀.
• 규격심사(15:00) 참관 불가 → 규격서 적합성만 평가.
• 가격입찰은 규격적격자(2인 이상)에게만 개찰; 부적격자 가격입찰서는 개봉하지 않음.
• 가격입찰서 개찰 후 적격자 2인 이상 시 재입찰(가격 재제출) 가능.
• 계약 체결: 낙찰 후 10일 이내 계약 체결, 계약보증금 10 % 보증보험 필요.
• 하자보증금: 계약금액의 10 % 하자이행보증보험증권, 납품 후 1 년간 보증.
• 대금 지급: 납품·검수 완료 후 청구 → 선금·중도금 지급 불가.
• 입찰보증금: 낙찰자가 계약 체결 안 할 경우 전액 귀속.
• 입찰 취소: 예산·사업계획 변경 등 불가피한 사유 시 사전 통보 없이 입찰 취소 가능 → 이의제기·손해배상 청구 불가.
• 문의: 입찰 관련 → 총무처 구매팀 (053‑810‑1284, FAX 053‑810‑2043) <br> 규격 관련 → 산학연구관리팀 (053‑810‑1210).
• 제출 서류 순서: 입찰등록 → 규격서(밀봉) → 가격입찰서(밀봉) → 기타 서류(법인인감·위임장·청렴서약서 등). 누락·오탈자 시 참가자격 부여되지 않음.

위 사항을 모두 숙지하고 입찰에 참여하시기 바랍니다. 필요한 경우 규격서 내용 확인이 어려우니 담당 부서에 사전 문의해 정확한 기술 사양을 확인하시기 바랍니다.