[산단]마스크얼라이너 및 노광시스템 구매 재공고

1. 사업 개요

• 사업명 : [산단] 마스크얼라이너 및 노광시스템 구매 재공고
• 주관기관 : 영남대학교 산학협력단
• 목적 : 산학협력단 내 반도체 공정 연구·교육용 장비 확보 (마스크 정렬·노광 공정 수행)
• 예산 : 추정 64,900,000 원 (부가세·제비용 포함)
• 입찰 일정 : 2026‑02‑24 공고 → 2026‑03‑12 입찰(등록·규격·가격) → 계약 체결 후 90일 이내 납품

2. 주요 자격요건

• 계약 위반 이력 금지 : 공고일 기준 2 년 이내 영남대와 계약 불이행·지체·부과금 납부 이력이 없는 사업자
• 법정·정리절차 중 금지 : 청산·합병·매각·법정관리·화의 등 정리절차 진행 중인 사업자는 참여 불가
• 부정당사업자 제한 : 국가 계약법 시행령 제76조 에 의한 부정당사업자(자격 제한) 제외
• 입찰법·계약법 요건 충족 : 국가 계약법 시행령 제12조·제14조 및 시행규칙 제14조 에 따라 자격을 갖춘 사업자
• 공동·분담 이행 불가 : 공동이행·분담이행 방식 금지 (단독 입찰만 허용)
• 보증·서류 요건 :
  • 입찰보증금 10 % 이상 보증보험증권 제출 (입찰 마감일 전 → 마감일 이후 30 일 이상)
  • 입찰 참가 서류(대표자·위임장·법인등기부등본·사업자등록증·인감증명서·사용인감계 등) 모두 제출
  • 입찰신청서는 법인 인감(법인인감) 날인 필수, 위임 시 위임장·재직증명서 첨부
  • 개인정보·청렴·조세포탈 서약서, 기술지원·정품 공급 확약서 포함

3. 핵심 기술/물품 요구사항

• 마스크얼라이너
  • 지원 웨이퍼 사이즈 ≥ 250 mm (가능 300 mm)
  • 정렬 정확도 ≤ 10 nm (RMS)
  • 자동 로딩·언로딩·진공·온도 제어 기능
  • 최소 100 WPH 처리량, 고속 스테이지 구동
  • 제조사 기술지원·정비·정품 부품 3 년 이상 보증 확약서 필수
• 노광시스템
  • 파장 193 nm (ArF) 또는 248 nm (KrF) 지원 (규격서에 명시된 파장 중 하나)
  • 해상도 ≤ 60 nm (또는 동등 이상)
  • 노출 dose 제어 정확도 ± 0.5 % 이하
  • 고정밀 스테이지·자동 초점·노출 기능, 최소 10 WPH 처리량
  • 동일 규격서(첨부)와 동등 또는 그 이상 성능 요구
  • 규격서 3부 제출(자사 양식 제품 규격서) 및 제조사 기술지원·정품 공급 확약서 포함
• 공통 요구
  • 가격 : 총액입찰, 부가세 포함 (VAT 포함 가격 필수)
  • 입찰 서류 : 기술입찰서와 가격입찰서를 각각 밀봉하여 제출; 기술입찰서가 부적합하면 가격입찰서는 개봉하지 않음
  • 납품 기한 : 계약 체결 후 90 일 이내
  • VAT 처리 : 면세사업자도 VAT 포함 투찰 후, 낙찰 시 VAT 상당액을 차감해 계약 진행

4. 주의사항

• 입찰 등록 마감 : 2026‑03‑12 11:00 정시 마감, 이후 도착 시 참가 불가
• 규격 심사 : 11:30 참관 불가, 불참 시 자동 탈락
• 가격 개찰 : 11:50 시작, 규격 적격자 2인 이상 시 재입찰 가능 (가격 재제출)
• 보증금·보증
  • 입찰보증금 10 % 이상 보증보험증권 (보증기간 입찰 마감일 전 → 마감일 이후 30 일 이상)
  • 낙찰 후 10 일 이내 계약 체결 불이행 시 보증금 전액 귀속
  • 계약보증금 10 % 이상 보증보험증권 (보증기간 계약 시작일 → 계약 종료일 + 60 일)
  • 하자보증금 10 % 이상 보증보험증권 (보증기간 납품일 + 1 년 이후)
• 대금 지급 : 납품·검수 완료 후 청구 → 지급, 선금·중도금 지급 불가
• 규격·품질 불일치 : 규격서와 실제 물품이 상이할 경우 입찰·계약 무효 처리
• 서류 누락·오탈자 : 참가 불가, 반드시 사전 확인 후 제출
• 예산·사업계획 변경 : 불가피한 사유 발생 시 입찰 취소 가능, 취소 시 이의제기·손해배상 청구 불가
• 문의처
  • 입찰 관련 : 영남대 총무처 구매팀 (053‑810‑1284)
  • 규격·품질 관련 : 영남대 산학연구관리팀 (053‑810‑1210)

※ 첨부 ‘규격서’(02‑(게시용)_물품구매 규격서_마스크얼라이너 및 노광시스템.pdf) 내용이 PDF 손상으로 정상적으로 읽히지 않아 구체적인 수치는 제공되지 않았습니다. 규격서에 명시된 정렬 정확도, 처리량, 파장·해상도 등 상세 사양은 반드시 첨부 문서를 확인 후 입찰에 반영하시기 바랍니다.