[긴급][산단]오토매틱 로봇 시스템이 장착된 클러스터형 분자선 증착기 구매(외자)

1. 사업 개요

• 목적: 영남대학교 CRC 클린룸(102호)에서 차세대 반도체·양자 재료 연구·개발을 위해 클러스터형 분자선 증착기(MBE) + 자동화 로봇 시스템을 긴급히 도입한다.
• 범위: 메인 성장 챔버, 로드‑락, 클러스터 챔버, 준비·저장·플립‑연결 챔버, 전기 랙·제어 시스템·RHEED·진공 펌프·자동화 로봇 등 전체 시스템을 포함한다.
• 긴급성: ‘긴급’ 입찰이며, 계약 체결 후 1 년 이내에 납품·설치·검수를 완료해야 함.

2. 주요 자격요건

• 외자 업체여야 함(국내 업체 참여 불가).
• 초고진공(UHV) MBE 시스템 설계·제조·납품 실적이 3 년 이상인 기업.
• 자동화 로봇·클러스터 툴 통합 제어 소프트웨어 제공 가능.
• 하자보증보험증권을 제출할 수 있는 기업(1 년 무상 하자보증).
• 무진동 운송·현장 설치·조정 능력이 있는 전담 엔지니어 보유.
• 단계별 대금 지급 조건(선급금 30 %·중도금 60 %·검수 후 10 %·L/C) 수용 가능.
• 교육·매뉴얼 제공 의무 및 향후 FIB 장비 연동 책임을 부담할 수 있는 기업.

3. 핵심 기술/물품 요구사항

① 메인 성장 챔버

• 3 인치 이상 기판 플랫트, 수직 S/S 진공 챔버
• 10 개 이상 effusion cell + shutter 포트, 이온 게이지(1 e‑4 ~ 2 e‑11 torr)
• 게이트 밸브, cryopanel(VBS), RHEED(12 keV + 실시간 패턴 분석)
• 온도·표면 응력·증착률 실시간 모니터링, 잔류 가스 분석기(200 amu)
• 광학 파이로미터, 뷰포트·셔터 3 세트 이상, 베이아웃 ≥ 150 °C
• Ultimate vacuum ≤ 5 e‑11 torr

② Effusion 셀 (필수 패키지)

| 재료 | 셀 수 | crucible 용량 | 허용 제조사 | 비고 |
|------|------|----------------|------------|------|
| Ga / In | 4 | ≥ 85 cc | ABI, SUMO, STEC | PBN crucible |
| Al | 2 | ≥ 60 cc | ABN, SUMO, STEC | PBN crucible |
| Dopant | 2 | ≥ 5 cc | – | PBN crucible |
| As Valved Cracker | 2 | ≥ 500 cc | – | – |

③ 클러스터 챔버

• 로봇 어셈블리 포함, 자동 클러스터 툴 관리 소프트웨어
• 베이스 압력 < 5 e‑10 Torr, 이온 게이지(1 e‑4 ~ 2 e‑11 torr)
• Viewport·셔터, 수동/자동 로딩 테스트 가능

④ 로드‑락 챔버

• 게이트 밸브, 터보 펌프(백업 스크롤), 컨벡트론·Ion Gauge(e‑3 torr ~ 1 e‑9 torr)
• UHV 엘리베이터, 전열 시스템, 퀵 액세스 도어, 보관 선반 ≥ 7개
• 30 분 내 < 2 e‑6 Torr 펌프‑다운, 수동·자동 로딩 테스트

⑤ 준비·저장·플립‑연결 챔버

• 기판 히터 ≥ 600 °C, 게이트 밸브, 이온 게이지, MO 블록 저장 ≥ 6EA
• 자동 플립 기능, 격리 밸브, 펌핑 시스템, Ion Gauge(1 e‑4 ~ 2 e‑11 torr)

⑥ 전기 랙·UPS

• 전력 분배·메인 온/오프·회로 차단기·PID·DC 전원 공급
• UPS ≥ 30 분·100 kVA 이상

⑦ 제어·소프트웨어

• 전용 제어 컴퓨터, MBE 통합 제어 GUI
• 셀 온도·셔터·히터·자동 샘플 이송·레시피 관리·데이터 트래킹
• 베이아웃 ≥ 150 °C, 원격 제어 옵션

⑧ 옵션 액세서리 (견적서 우선)

• 플라즈마 소스(N₂·O₂), Cryo Cooling Stage, QCM, In‑situ 분석 포트, 기판 클램프·마스크, 예비 셀 등

⑨ 품질 검증(현장 인수 테스트)

• 진공·기계·전기 동작 확인
• HEMT 테스트: 시트 캐리어 농도 ≈ 5 × 10¹¹ cm⁻², 이동도 ≥ 6,000 cm²/V·s(300 K)·≥ 120,000 cm²/V·s(77 K) 달성 필요

4. 주의사항

• 외자 제한: 국내 업체는 입찰 불가.
• 납품 일정: 계약 체결 후 1 년 이내, 일정 조정 시 사전 협의·동의 필수.
• 하자보증보험: 1 년 무상 하자보증 및 하자보증보험증권 제출 의무.
• 운송: 육상 운송 시 무진동 차량 사용, CRC 102 클린룸까지 운송·인도.
• 설치·검수: 현장 설치 후 7 일 이내 엔지니어 방문점검, 검수 완료 기한 2026‑11‑30.
• 대금 지급: 선급금 30 %·중도금 60 %·검수 후 10 %·L/C(신용장) 조건.
• FIB 연동 책임: 향후 FIB 장비와 연동 시 연결·연동 책임에 대한 계약 포함.
• 교육·매뉴얼: 장비 작동·유지보수 교육 및 전체 매뉴얼 제공 의무.
• 옵션 선택: 사양서에 명시되지 않은 사항은 각 공급사 견적서에 기재된 내용 우선 적용.
• 품질 테스트: HEMT 성능 미달 시 검수 불합격 가능.
• DAP 조건: 구매 절차·품질 요구사항은 DAP(Defense Acquisition Program) 기준 따름.

---

위 내용은 입찰 참여 시 반드시 검토해야 할 핵심 포인트이며, 상세 사양은 각 공급사의 견적서에 기재된 추가·선택 옵션을 기준으로 최종 판단하시기 바랍니다.